[发明专利]光电探测器固定装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种固定装置，且特别涉及一种光刻装置中光电探测器的固定装置。

背景技术

在扫描光刻机的设计过程中，掩模台和工件台需要配置一个测量能量密度的能量传感器，能量传感器中有一个光电探测器，将光信号转换成电信号用来测量激光的各项指标。光电探测器的探测面一般以扫描光刻机系统的光轴为中心对称。

光电探测器机构的最佳探测面很难把握和确定，需要进行不断的测试和试验来最终确定。在确定最佳探测面的基础上，需要做一个固定装置来保证光电探测器可换并且位置可调，在运动过程中还需满足光电探测器位置精度高、能承受一定的加速度。这样通过对不同型号光电探测器和不同位置进行测量，进行数据分析，确定每种光电探测器的最佳探测面。此固定装置要能够满足在运动中对不同外形尺寸的光电探测器进行自动抱紧和定心，稳定性高和运动偏心小，保证光电探测器自身探测面定心精度高和运动稳定性好。

光电探测器通常包括壳体、尾纤和管脚。目前，光电探测器一般的固定方法为：通过管脚将光电探测器直接焊接在电路板上，下端与电路板贴合或者将探测器裸露于电路板上面，电路板再利用各种方法装配在基体上。

这种方法使得光电探测器的定位精度完全取决于电路板的安装精度，然而一般电路板上焊接有许多部件，电路板外形和装配尺寸精度比较低。通常通过探测器探测面的大小来补偿与光轴中心对称度差的缺陷，这种方法使得探测器的定位精度低，稳定性差。

如图4所示，中国专利ZL200320122065.0中介绍了一种供探测器使用的固定装置，其包括压板2和底套3，底套3套合在压板2的腔体内；压板2上部开有供探测器1的管脚穿过的排孔6，压板2的两个侧面上有用于同基体通过螺钉固定的固紧件5，压板2底部为空腔，压板2与底套3套合后形成的内部空腔大小与需固定的探测器1相适应，压板2的一侧面开有供探测器探头伸出的圆孔；所述的底套3带有凸缘，底套3内腔大小同探测器大小适配。

该技术方案中的探测器固定在底套3和压板2内，不能相对于底套3和压板2移动，另外，探测器安装位置仍需要依靠探测器焊接于电路板上的精度来决定，因此安装精度不高。

发明内容

本发明提出一种光电探测器固定装置，能够解决上述问题。

为了达到目的，本发明提出一种光电探测器固定装置，用于将光电探测器固定在光刻装置中，光电探测器具有中心轴线，其一端为探测面，另一端为管脚。固定装置包括：中空圆台、固定座和顶块。中空圆台为以中心轴线对称的筒状结构，中空圆台包覆光电探测器，中空圆台外表面半径自探测面至管脚方向均匀增大。固定座固定在光刻装置中，固定座具有楔形开口，楔形开口的内壁形状与中空圆台的外表面相对应，包覆中空圆台的外表面。顶块包括压紧块和锁固件，锁固件锁合于固定座，锁固件抵压压紧块，压紧块抵压光电探测器具有管脚的一端和中空圆台。

可选的，其中上述光电探测器的上述探测面自上述楔形开口露出。

可选的，其中上述压紧块和上述锁固件为一体成型。

可选的，其中上述中空圆台的材料为橡胶。

可选的，其中上述中空圆台的筒壁开有槽口，当上述光电探测器的尺寸变化，上述中空圆台利用上述槽口改变自身内外径尺寸充分包覆上述光电探测器。

可选的，其中上述压紧块具有内孔，上述光电探测器的管脚通过上述内孔焊接至上述电路板上。

可选的，其中上述压紧块具有槽口，上述槽口将上述内孔沿上述压紧块的径向贯通至上述压紧块外，装配时将上述压紧块从侧边装配于上述光电探测器与上述电路板之间。

可选的，其中上述固定座具有螺纹孔，上述锁固件利用螺钉锁合于上述固定座，上述螺钉调节上述顶块与上述固定座之间的距离。

可选的，其中上述锁固件具有空腔，形成容置空间容置上述电路板，上述锁固件为金属材料，对电路板进行电磁屏蔽。

可选的，其中上述顶块具有电路板压圈固定在上述锁固件的空腔内，抵压上述电路板上与管脚连接的表面的相反表面。