[发明专利]脂环族不饱和化合物、聚合物、化学增幅抗蚀剂组合物及采用所述组合物形成图案的方法

摘要

本发明公开了以通式(1)表示的新颖脂环族不饱和化合物：其中R1和R2至少之一是氟原子或氟化烷基；以及通过聚合含有该脂环族化合物的聚合物前体而生成的聚合物。在采用至多190nm波长的光照的平版印刷中，该聚合物可用作化学增幅抗蚀剂，其对用于曝光中的照射光显示出出色的透明度，对衬底具有出色的粘附性，且具有出色的抗干腐蚀性。

主权项

1.以如下通式(1)表示的脂环族不饱和化合物：其中R¹和R²独立地表示含有1-6个碳原子的氟化烷基，R³表示氢原子，羧甲基，COOC(CH₃)₃，CH₂OCH₃，CH₂OC₂H₅，CH₂COOC(CH₃)₃，CH₂COOCH₂OCH₃，CH₂COOCH(CH₃)OC₂H₅或R⁴表示氢原子，含有1-6个碳原子的直链、支链或环状烷基，乙酰基或氯乙酰基，R⁵表示氢原子或含有1-6个碳原子的直链、支链或环状烷基，A¹和A²独立地表示氢原子，X¹和X²独立地表示-CH₂-，Y表示氢原子，甲基或氟原子，m是0或1，n1和n2独立地为0-2的整数。