[发明专利]脂环族不饱和化合物、聚合物、化学增幅抗蚀剂组合物及采用所述组合物形成图案的方法无效
| 申请号： | 200910174738.9 | 申请日： | 2004-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN101700992A | 公开（公告）日： | 2010-05-05 |
| 发明（设计）人： | 前田胜美;中野嘉一郎 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | C07C35/52 | 分类号： | C07C35/52;C07C69/96;C07C43/30;C07C59/60;C07C69/708;C07C69/63 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨海荣;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 脂环族 不饱和 化合物 聚合物 化学 增幅 抗蚀剂 组合 采用 形成 图案 方法 | ||
【权利要求书】：
1.以如下通式（1）表示的脂环族不饱和化合物：
其中
R1和R2独立地表示含有1-6个碳原子的氟化烷基，
R3表示氢原子，羧甲基，COOC(CH3)3,CH2OCH3,CH2COOC(CH3)3, CH2COOCH2OCH3或CH2COOCH(CH3)OC2H5，
R4表示氢原子，含有1-6个碳原子的直链、支链或环状烷基，或 乙酰基，
R5表示氢原子或含有1-6个碳原子的直链、支链或环状烷基，
A1和A2独立地表示氢原子，
X1和X2独立地表示-CH2-，
Y表示氢原子，
m是0或1，n1和n2独立地为0-2的整数。
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