[发明专利]分离液气混合物的分离器及包含该分离器的基板处理设备无效
| 申请号： | 200910170848.8 | 申请日： | 2009-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN101670215A | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 金正善 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/10 | 分类号： | B01D46/10;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 | 代理人： | 段迎春 |
| 地址： | 韩国忠南天安市*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种分离液气混合物的分离器及包含该分离器的基板处理设备。在一种从液气混合物中分离液体成分的分离器中，分离器包括：分离箱，其具有设置在顶部的进口，在所述分离箱中位于所述进口之下的过滤单元，处于所述分离箱底部的排气部件，以及位于所述分离箱底部的排液部件。所述液气混合物通过所述进口被提供到所述分离箱中，并且所述过滤单元从所述液气混合物中过滤所述液体成分。所述排气部件形成为这样的构造，即其封闭端部面向所述过滤单元，并且至少一个排气口设置在所述排气部件的侧壁上。所述液气混合物的气体成分通过所述排气口排出到所述分离箱外。所述液气混合物的液体成分通过所述排液部件排出到所述分离箱外。所述液体成分被有效地从液气混合物中分离出来，而不用增加装置空间。 | ||
| 搜索关键词： | 分离 混合物 分离器 包含 处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种从液气混合物中分离液体成分的分离器，包括：分离箱，包括设置在其顶部的进口，所述液气混合物通过所述进口被提供到所述分离箱中；在所述分离箱中位于所述进口之下的过滤单元，所述过滤单元从所述液气混合物中过滤所述液体成分；处于所述分离箱底部的排气部件，其形成为这样的构造，即所述排气部件的封闭端部面向所述过滤单元，并且至少一个排气口设置在所述排气部件的侧壁上，所述液气混合物的气体成分通过所述排气口排出到所述分离箱外；以及位于所述分离箱底部的排液部件，所述液气混合物的液体成分通过所述排液部件排出到所述分离箱外。
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