[发明专利]分离液气混合物的分离器及包含该分离器的基板处理设备

说明书

技术领域

实施例涉及一种将液体和气体分成各自成分的分离器，以及包括该分离器的基板处理设备。尤其，实施例涉及一种在基板处理之后排出处理溶液和喷射气体的混合物时，将液-气混合物分成各自的液体成分和气体成分的分离器，以及包含该分离器的基板处理设备。

背景技术

平板显示器装置包括液晶显示器(LCD)装置，等离子显示器(PDP)装置以及有机发光二极管显示器(OLED)装置。

上述平板显示器(FPD)装置包括显示图像的显示器面板，该面板主要是以玻璃基板为基础制造的。

例如，该显示器面板通常通过各种单元处理，诸如沉积处理、蚀刻处理、光刻处理、清洗处理以及检查处理而制得。

在上述的单元处理中，蚀刻处理和清洗处理是在放置基板的处理室内进行的。在该处理室内，蚀刻处理或清洗处理的处理溶液通过溶液喷洒器喷到基板上。

在现有的蚀刻处理和清洗处理设备中，气体喷射器放置于溶液喷洒器的上方，并且将该处理溶液驱动到基板上的驱动气体朝基板喷射。因此，处理溶液和驱动气体的喷洒混合物在处理室中流动。

处理溶液和驱动气体的喷洒混合物会污染处理室中的基板，因而需要将喷洒混合物从处理室中排出。真空泵通过排放管连接到处理室，喷洒混合物通过排放管从处理室中排出。

然而，当喷洒混合物流到真空泵中时，真空泵会因喷洒混合物中的处理溶液导致损坏。因此，需要在喷洒混合物流到真空泵之前将喷洒混合物中的处理溶液分离掉。

发明内容

本发明构思的实施例提供了将处理溶液和驱动气体的混合物分离成各自的处理溶液成分和驱动气体成分的分离器。

本发明构思的实施例提供了包括上述分离器的基板处理设备。

根据本发明构思的某些实施例，提供了一种分离器包括：分离箱，具有设置在其顶部的进口，在所述分离箱中位于所述进口之下的过滤单元，处于所述分离箱底部的排气部件，以及位于所述分离箱底部的排液部件。所述液气混合物通过所述进口被提供到所述分离箱中，并且所述过滤单元从所述液气混合物中过滤所述液体成分。所述排气部件形成为这样的构造，即其封闭端部面向所述过滤单元，并且至少一个排气口设置在所述排气部件的侧壁上。所述液气混合物的气体成分通过所述排气口排出到所述分离箱外。所述液气混合物的液体成分通过所述排液部件排出到所述分离箱外。

在一实施例中，所述排气口位置高于所述分离箱底部的表面。

在一实施例中，所述过滤单元包括第一多孔板和第二多孔板，穿过所述第一多孔板设置有多个具有第一直径的第一孔，所述第二多孔板上设置多个具有比所述第一直径小的第二直径的第二孔，所述第二多孔板位于所述第一多孔板之下，形成为这样的构造，即所述分离箱的内部空间被分割成小的子空间。

在一实施例中，所述第一孔的总面积与所述进口的截面积之比的范围为约1.1至约1.5；并且所述第二孔的总面积与所述进口的截面积之比的范围为约1.0至约1.2。

在一实施例中，所述第一孔的第一直径为所述进口的直径的约0.1至约0.3倍；并且所述第二孔的第二直径为所述第一孔的第一直径的约0.7至约0.9倍。

在一实施例中，所述过滤单元包括至少一个放置于所述第一多孔板和第二多孔板之间的过滤片，所述过滤片具有细纤维丝。

在一实施例中，所述分离箱还包括在其侧壁的开口，封闭所述开口的盖，以及用以密封所述开口周围的、所述盖与所述分离箱之间间隙的密封部件，所述第一多孔板和第二多孔板以及放置在所述第一多孔板和第二多孔板之间的过滤片通过所述开口安装到所述分离箱中或从所述分离箱中取出。

在一实施例中，所述分离箱还包括从开口沿所述分离箱的内侧壁延伸的第一导引槽和第二导引槽，所述第一多孔板和第二多孔板分别插入到所述第一导引槽和第二导引槽中并被导引到所述分离箱中。例如，所述第一导引槽的宽度大于所述第一多孔板的厚度约1mm至约3mm；并且所述第二导引槽的宽度大于所述第二多孔板的厚度约1mm至约3mm。

在一实施例中，所述分离箱还包括在其底部的凹槽部，并且所述排液部件连接于所述分离箱的凹槽部。

在一实施例中，所述分离箱底部从其中央部向周边部倾斜，并且所述排液部件连接于所述分离箱底部的所述周边部。

在一实施例中，所述排气部件为圆柱形，并且所述多个排气口设置在所述封闭端部周围的所述圆柱形排气部件的圆周面上并隔开相同的间隔距离，所述间隔距离为所述圆柱形排气部件的圆周长度的约0.07至约0.1倍。