[发明专利]分离液气混合物的分离器及包含该分离器的基板处理设备

权利要求书

1.一种从液气混合物中分离液体成分的分离器，包括：

分离箱，包括设置在其顶部的进口，所述液气混合物通过所述进口被提供到所述分离箱中；

在所述分离箱中位于所述进口之下的过滤单元，所述过滤单元从所述液气混合物中过滤所述液体成分；

处于所述分离箱底部的排气部件，其形成为这样的构造，即所述排气部件的封闭端部面向所述过滤单元，并且至少一个排气口设置在所述排气部件的侧壁上，所述液气混合物的气体成分通过所述排气口排出到所述分离箱外；以及

位于所述分离箱底部的排液部件，所述液气混合物的液体成分通过所述排液部件排出到所述分离箱外。

2.如权利要求1所述的分离器，其中所述排气口位置高于所述分离箱底部的表面。

3.如权利要求1所述的分离器，其中所述过滤单元包括第一多孔板和第二多孔板，穿过所述第一多孔板设置有多个具有第一直径的第一孔，所述第二多孔板上设置多个具有比所述第一直径小的第二直径的第二孔，所述第二多孔板位于所述第一多孔板之下，形成为这样的构造，即所述分离箱的内部空间被分割成小的子空间。

4.如权利要求3所述的分离器，其中所述第一孔的总面积与所述进口的截面积之比的范围为约1.1至约1.5；并且所述第二孔的总面积与所述进口的截面积之比的范围为约1.0至约1.2。

5.如权利要求3所述的分离器，其中所述第一孔的第一直径为所述进口的直径的约0.1至约0.3倍；并且所述第二孔的第二直径为所述第一孔的第一直径的约0.7至约0.9倍。

6.如权利要求3所述的分离器，其中所述过滤单元包括至少一个放置于所述第一多孔板和第二多孔板之间的过滤片，所述过滤片具有细纤维丝。

7.如权利要求6所述的分离器，其中所述分离箱还包括在其侧壁的开口，封闭所述开口的盖，以及用以密封所述开口周围的、所述盖与所述分离箱之间间隙的密封部件，所述第一多孔板和第二多孔板以及放置在所述第一多孔板和第二多孔板之间的过滤片通过所述开口安装到所述分离箱中或从所述分离箱中取出。

8.如权利要求7所述的分离器，其中所述分离箱还包括从开口沿所述分离箱的内侧壁延伸的第一导引槽和第二导引槽，所述第一多孔板和第二多孔板分别插入到所述第一导引槽和第二导引槽中并被导引到所述分离箱中。

9.如权利要求8所述的分离器，其中所述第一导引槽的宽度大于所述第一多孔板的厚度约1mm至约3mm；并且所述第二导引槽的宽度大于所述第二多孔板的厚度约1mm至约3mm。

10.如权利要求1所述的分离器，其中所述分离箱还包括在其底部的凹槽部，并且所述排液部件连接于所述分离箱的凹槽部。

11.如权利要求1所述的分离器，其中所述分离箱底部从其中央部向周边部倾斜，并且所述排液部件连接于所述分离箱底部的所述周边部。

12.如权利要求1所述的分离器，其中所述排气部件为圆柱形，并且多个所述排气口设置在所述封闭端部周围的所述圆柱形排气部件的圆周面上并隔开相同的间隔距离，所述间隔距离为所述圆柱形排气部件的圆周长度的约0.07至约0.1倍。