[发明专利]自动化光罩辨识的管理方法及系统

摘要

本发明涉及一种自动化光罩辨识的管理方法及系统，属于机电类。其主要由机台、承载座、控制装置、屏幕所构成，于机台上嵌设有供读取光罩盒上标签条码的标签读取装置(Barcode Reader)，另于承载座端面装设至少一供读取相对光罩资料的无线射频辨识装置(RFID)，且于承载座底部至少一侧边装设有一供读取光罩盒内光罩资料的电荷耦合元件(CCD)，当承载座置放光罩盒时Barcode及RFID则针对光罩盒上的条码及IC芯片进行读取，另承载座上移时CCD则针对光罩进行资料读取，而上述所取得的资料均储存至资料库同时通过屏幕显示，本发明的优点是由于无需通过人力进行资料的输入，因此可节省额外的人力支出，利用此系统能达到全自动化，并能随即显示资料的正确性，使操作人员能随时掌握光罩盒与光罩的资料。

主权项

一种自动化光罩辨识的管理方法，其特征在于包括下列读取/写入步骤：a)启动具有已放置光罩盒的承载座的机台；b)利用分别装设于该机台与该承载座至少一侧边上的无线射频辨识装置(RFID)分别对该光罩盒及该光罩盒对应光罩的资料进行读取；c)通过该承载座升起将该光罩盒分离；d)利用该承载座底部至少一侧边装设有一供读取该光罩盒内该光罩资料的电荷耦合元件；e)完成步骤d)后，再次将该承载座升起并将所侦测到的该光罩资料储存至该资料库并显示于屏幕；f)当完成该屏幕显示后，再次启动该机台并将该承载座向下运行至该电荷耦合元件能读取到该光罩资料的位置；g)该承载座下降使该光罩盒组合，同时通过位于该机台上的标签读取装置(Barcode Reader)再次进行该条码的读取；h)利用设于该承载座至少一侧边上的无线射频辨识装置(RFID)对该光罩盒上的ID芯片写入相关该光罩的资料。