[发明专利]自动化光罩辨识的管理方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及机电类，特别涉及一种光罩辨识系统，尤指一种对光罩及光 罩盒进行全自动化资料读取及写入的自动化光罩辨识的管理方法及系统。

背景技术

近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(Optical Lithography)扮 演重要的角色，只要有关于图形(pattern)定义，都要依赖光学微影技术，光 学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透 光的光罩，利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅晶圆(silicon wafer)可 曝光显示特定图案，由于任何在光罩上的微小损伤都会造成投影成像的品质 劣化，所以用于产生图形的光罩必须保持绝对完好及清洁，因此光罩盒的坚 固及平稳程度和是否能确实的提供一个安全的环境以放置光罩就显得十分重 要。

常用的光罩盒资料管理，将一般光罩放置于光罩盒内后，为了能在下次 快速取得所需的光罩盒内的光罩，因此操作人员必须将光罩盒与对应的光罩 资料输入至计算机以建立完善的资料库，而目前是采用条码(Barcode)或者工 单(Run card)来实行物料批号的管理及辨识，条形码及工单可能会在生产过 程中损坏或损失，因此无法实质帮助操作人员解决物料批号管理的问题。

另一常用技术是采用手持式射频读取器(RF reader)，并再利用人工键入 的方式，将光罩对应光罩盒的相关资料进行建档储存，由于人工建档出错率 会因人为因素而随之增加，因此无法有效控管批号的管理及辨识，进而增加 未来核对光罩的困难度，急需加以改进。

发明内容

本发明的目的在于提供一种自动化光罩辨识的管理方法及系统，解决常 用人力输入资料造成人为疏失错误问题，同时也节省人力，利用此系统能达 到全自动化，并能随即显示资料的正确性，使操作人员能随时掌握光罩盒与 光罩的资料。

本发明的技术方案是：本发明自动化光罩辩识系统主要由机台、承载座、 控制装置、屏幕所构成，在机台上嵌设有供读取光罩盒上标签形码的标签读 取装置(Barcode Reader)，另于承载座端面装设至少一供读取相对光罩资料 的无线射频辨识装置(RFID)，且于承载座底部至少一侧边装设有一供读取光 罩盒内光罩资料的电荷耦合组件(CCD)，当承载座置放光罩盒时Barcode及 RFID则针对光罩盒上的条形码及工C芯片进行读取，另承载座上移时CCD则针 对光罩进行资料读取，而上述所取得的资料均储存至资料库同时通过屏幕显 示，如此无须通过人力输入资料避免人为疏失，另可写入光罩资料至IC芯片 以确认资料无误。

一种自动化光罩辨识的管理方法，包括下列读取/写入步骤：

a、利用控制装置启动具有已放置光罩盒的承载座的机台并选择运作状 态；

b、利用分别装设于该机台与该承载座至少一侧边上的无线射频辨识装置 (RFID)分别对该光罩盒及该光罩盒对应光罩的资料进行读取；

c、通过该承载座升起将该光罩盒分离；

d、利用该承载座底部至少一侧边装设有一供读取该光罩盒内该光罩资料 的电荷耦合组件(Charge Coupled Device)；

e、完成步骤d后，再次将该承载座升起并将所侦测到的该光罩资料储存 至该资料库并显示于屏幕；

f、完成该屏幕显示后，再次启动该机台并将该承载座向下运行至该电荷 耦合组件能读取到该光罩资料的位置；

g、该承载座下降使该光罩盒组合，同时通过位于该机台上的标签读取装 置(Barcode Reader)进行该条码的读取；

h、利用设于该承载座至少一侧边上的无线射频辨识装置(RFID)对该光 罩盒上的ID芯片写入相关该光罩的资料；

其中控制装置运作状态包括能切换手动或自动其中之一；

其中装设于机台内的该无线射频辨识装置，针对该光罩盒上的条码进行 读取且将该些资料储存至资料库，并同步显示于该屏幕上；与装设于承载座 至少一侧边的该无线射频辨识装置(RFID)，能对该光罩盒上的ID芯片进行 该光罩盒对应光罩的读取且将该些资料储存至该资料库，并同步显示于该屏 幕上。

其中该步骤e还包括再次启动该机台时清除屏幕上所有数据的次步骤；

其中该步骤f还包括该承载座底部周边所设的防夹感知器与该机台内的 紧急停止装置成一电性连接的次步骤。