[发明专利]自动化光罩辨识的管理方法及系统

权利要求书

1.一种自动化光罩辨识的管理方法，其特征在于包括下列读取／写入步骤：

a）启动具有已放置光罩盒的承载座的机台；

b）利用分别装设于该机台的标签读取装置与该承载座至少一侧边上的无线射频辨识装置（RFID）分别对该光罩盒及该光罩盒对应光罩的资料进行读取，装设于机台内的该标签读取装置，针对该光罩盒上的条码进行读取且将该些资料储存至资料库，并同步显示于屏幕上；装设于承载座至少一侧边的该无线射频辨识装置，能对该光罩盒上的ID芯片进行该光罩盒上对应光罩的读取且将该些资料储存至资料库，并同步显示于屏幕上；  

c）通过该承载座升起将该光罩盒分离；

d）利用该承载座底部至少一侧边装设有一供读取该光罩盒内光罩资料的电荷耦合组件；

e）完成步骤d）后，再次将该承载座升起并将所侦测到的光罩资料储存至资料库并显示于屏幕；

f）当完成该屏幕显示后，再次启动该机台并将该承载座向下运行至该电荷耦合组件能读取到该光罩资料的位置；

g）该承载座下降使该光罩盒组合，同时通过位于该机台上的标签读取装置（Barcode Reader）进行条码的读取； 

h）利用设于该承载座至少一侧边上的无线射频辨识装置（RFID）对该光罩盒上的ID芯片写入相关该光罩的资料。

2.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于：所述的步骤a）包括下列次步骤：a1）利用控制装置启动机台并选择运作状态。

3.根据权利要求2所述的管理方法，其特征在于：所述的该次步骤a1）的运作状态包括能切换手动或自动其中之一。

4.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于：所述的步骤e）包括于再次启动该机台时清除屏幕上所有数据的次步骤e1）。

5.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于：所述的步骤g）包括于该承载座底部周边所设的防夹感知器与该机台内的紧急停止装置成一电性连接的次步骤g1）。

6.一种自动化光罩辨识的系统，其特征在于包括一机台，该机台装设有一供选择运作状态、并启动一承载座的控制装置；

标签读取装置及至少一无线射频辨识装置，标签读取装置装设于供读取光罩盒上标签条码的机台，及至少一无线射频辨识装置装设于供读取／写入该光罩盒上具有对应光罩资料之ID芯片的该承载座侧边；一电荷耦合组件，该电荷耦合组件供读取该光罩盒内光罩资料,并装设于该承载座底部至少一侧边。

7.根据权利要求6所述的自动化光罩辨识的系统，其特征在于：包括有一供储存该光罩盒及光罩相关资料的资料库。 

8.根据权利要求7所述的自动化光罩辨识的系统，其特征在于：所述的资料库是由一光罩盒条码区、一光罩码区、一光罩盒码区及一光罩盒固定码区所建构成。