[发明专利]多表面检测系统及方法有效
| 申请号： | 200910141024.8 | 申请日： | 2009-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101603926A | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 阿曼努拉·阿杰亚拉里;葛汉成;陈发齐;黎庆添 | 申请（专利权）人： | 半导体技术设备私人有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;G02B5/04;B07C5/34 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 新加坡25加冷*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本发明公开了一个实时检测元件的系统，系统包括置于检测项目运输路径下方的棱镜结构，一个图像数据系统置于棱镜结构的下方，一个光组件提供检测元件多个侧面照明的第一光源和检测物品底部的照明第二光源。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种实时检测元件的系统，其特征在于，包括：一个置于检测物品运输路径下方的棱镜结构；一个置于棱镜结构下方的图像数据系统；一个光组件，提供给检测项目多个侧面照明的第一光源，提供给检测项目底部照明的第二光源。
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