[发明专利]多表面检测系统及方法有效

专利信息
申请号: 200910141024.8 申请日: 2009-05-11
公开(公告)号: CN101603926A 公开(公告)日: 2009-12-16
发明(设计)人: 阿曼努拉·阿杰亚拉里;葛汉成;陈发齐;黎庆添 申请(专利权)人: 半导体技术设备私人有限公司
主分类号: G01N21/89 分类号: G01N21/89;G02B5/04;B07C5/34
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 代理人: 王敏杰
地址: 新加坡25加冷*** 国省代码: 新加坡;SG
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摘要:
搜索关键词: 表面 检测 系统 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及元件检测系统,尤其涉及一种多表面检测的系统和方法,该 系统和方法在进行多表面检测时,不需要将元件一直置于检测仪器中。

背景技术

众所周知,通常用单个图像数据来检测元件的多表面,然而,现有的方 法和系统在进行多表面的检测时需要将被检测元件置于检测仪器中,例如需 要降低或升高被检测元件至合适的位置。一些系统和检测方法允许在进行检 查时,将检测仪器置于被检测元件的顶部和下部,这样的系统和方法的图像 数据因为来自不同表面,且不在同一个焦平面内,并且该图像数据所在的表 面远大于被检测元件的整个表面,因此这种系统和方法的分辨率低,并且需 要不同焦距的多种图像数据生成系统。

发明内容

本发明提供的用于检测元件多表面的系统和方法克服了现有检测系统和 方法的缺陷。

本发明尤其在于,提供了了一种系统和方法,用于检测元件多表面,并 提供了高的分辨率和允许单一的一套图像数据来生成包含每个表面的图像数 据,通过棱镜来补偿不同的焦距。

依照本发明最优选的实施方式,提供了一种实时(on-the-fly)元件检测 系统。该系统包括置于检测项目运输路径下方的棱镜结构。图像数据系统置 于棱镜结构的下方。一组光组件提供了包含检测项目多个侧面的第一光源和 检测项目底部的第二光源。

本发明提供了一种实时检测元件的系统,其中,包括:一个置于检测物 品运输路径下方的棱镜结构;一个置于棱镜结构下方的图像数据系统;一个 光组件,提供给检测项目多个侧面照明的第一光源,提供给检测项目底部照 明的第二光源。

上述的系统,其中,所述光组件包括包围检测物品运输路径的一个通道。

上述的系统,其中,所述第一光源由圆屋顶形光源组成。

上述的系统,其中,所述检测物品的运输路径是一维的。

上述的系统,其中,所述检测物品的运输路径不需要二维空间移动。

上述的系统,其中,所述棱镜结构包含多个棱镜。

上述的系统,其中,所述棱镜结构包含一个或多个棱镜,棱镜的第一反 射面和平行于检测物品的平面成45°+α角,α的取值为20°到50°。

上述的系统,其中,所述的棱镜第一反射面和第二反射面的角度关系为 45°+α。

上述的系统,其中,第一光源由在光组件中多个发光二极管组成,和检 测物品运输路径相邻。

上述的系统,其中,第二光源有一个在检测物品运输路径下方的发光二 极管环形阵列组成。

本发明还提供了一种实时检测元件的方法,其中,包括:在光组件的通 道中移动检测物品;用第一照明光源照明检测物品的多个侧面;用第二照明 光源照明检测物品的底部。

上述的方法,其中,所述在光组件的通道中移动检测物品只包括在一维 方向上的移动。

上述的方法,其中,还包括:在光组件通道中移动多个检测项目;当多 个检测项目通过棱镜组件,产生每个检测项目的图像数据。

上述的方法,其中,所述的用第一照明光源照明检测物品的多个侧面包 括用第一照明光源照明检测项目的多个侧面角。

本发明提供了一种用于检测元件的棱镜,其中,包括:第一端;棱镜的 第一反射面和平行于检测物品的平面成45°+α角,α的取值为20°到50°;棱 镜第一反射面和第二反射面的角度关系为45°-α/2;第二端,第一反射面和 第二反射面被配置在第一端和第二端之间。

本发明提供了另一种实时检测元件的方法,其中:包含上述的多个棱镜。

上述的方法,其中,当从多个棱镜的一个点向第二个端看去时,多个棱 镜提供检测项目的多个侧面图像。

上述的方法,其中,所述多个棱镜包括,相互对立的第一对棱镜提供检 测项目左右侧面图像;相互对立的第二对棱镜提供检测项目前后侧面图像。

上述的方法,其中,包括,面向第一对棱镜和第二对棱镜中央的第五个 棱镜,用来适配聚焦图像的折射率。

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