[发明专利]多表面检测系统及方法有效
| 申请号: | 200910141024.8 | 申请日: | 2009-05-11 |
| 公开(公告)号: | CN101603926A | 公开(公告)日: | 2009-12-16 |
| 发明(设计)人: | 阿曼努拉·阿杰亚拉里;葛汉成;陈发齐;黎庆添 | 申请(专利权)人: | 半导体技术设备私人有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/89 | 分类号: | G01N21/89;G02B5/04;B07C5/34 |
| 代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 王敏杰 |
| 地址: | 新加坡25加冷*** | 国省代码: | 新加坡;SG |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 表面 检测 系统 方法 | ||
1.一种实时检测多个检测项目的系统,其特征在于,所述系统包括:
一个检测项目传输系统,用来沿着一条一维的检测项目运输路径移动多 个检测项目,使得每一个检测项目的顶部表面位于一个检测平面内并穿过检 测平面内的一个检测区域;
一个棱镜结构,包括至少一个棱镜,位于棱镜结构中的每个棱镜包括第 一端,第二端和第一反射面,第一反射面用于在检测项目沿着一维检测项目 运输路径移动穿过检测区域时接收多个检测项目中每个检测项目的至少一个 侧面的反射光线,并引导接收到的反射光线朝向棱镜的第二端;
一个图像数据生成系统,用于在多个检测项目沿着穿过检测平面中检测 区域的一维检测项目运输路径移动时生成包括多个检测项目中每个检测项目 的至少一个侧面的一套图像数据;以及
一个光组件,围绕棱镜结构并延伸,光组件提供位于棱镜结构上方供多 个检测项目利用检测项目传输系统通过的通道;其中,
所述棱镜结构、图像数据生成系统和光组件置于检测平面的下方,同时 多个检测项目沿着一维的检测项目运输路径移动,并生成包括多个检测项目 中的每个检测项目的至少一个侧面的一套数据图像。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:所述光组件包括用来照明 多个检测项目中的至少一个检测项目的多个侧面的第一光源,还包括用来照 明多个检测项目中的至少一个检测项目的顶面的第二光源。
3.根据权利要求1所述的系统,所述光组件由圆屋顶形光源组成,其特 征在于:所述圆屋顶形光源进一步包括多个LED部分来提供给检测项目的多 个侧面和一个顶面的照明。
4.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:所述棱镜结构包含多个棱 镜,所述多个棱镜包括置放于不同位置且沿着一维检测项目运输路径方向彼 此相关的第一棱镜和第二棱镜,检测项目传输系统用来使得多个检测项目中 每个检测项目沿着一维检测项目运输路径连续的通过通道和光组件,从而使 得多个检测项目中每个检测项目在越过所述第二棱镜之前先越过所述第一棱 镜。
5.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:所述棱镜结构中每个棱镜 的第一反射面在棱镜的第一反射面和平行于检测平面的平面之间成一个预定 角度,其中所述光组件包括置放于通道下方的光线单元和环形围绕棱镜结构 的光线单元。
6.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:所述第一反射面在棱镜的 第一反射面和平行于检测平面的平面之间成45°+α角度,α的取值为20°到 50°,所述棱镜结构包括具有与所述第一反射面相关的预设角度关系的第二反 射面。
7.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:所述光组件由沿着棱镜结 构内每个棱镜的所述第一端和所述第二端之间的部分的通道下方的多个发光 二极管组成。
8.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:光组件由一个发光二极管 环形阵列组成。
9.一种实时检测组件的方法,其特征在于,包括:
在光组件的通道中沿着一维检测项目运输路径移动检测物品,使得检测 项目的顶部表面位于检测平面中的检测区域内;
用光组件照明检测物品的多个侧面;
用光组件照明检测物品的顶面;
当检测项目通过光组件内的通道时,移动检测项目经过棱镜结构上方, 所述棱镜结构包括多个包括第一棱镜和第二棱镜的棱镜,棱镜结构中的每个 棱镜具有第一端,第二端和第一反射面,第一反射面引导入射在棱镜第一反 射面上的光线朝向棱镜的第二端;在检测项目沿着一维检测项目运输路径移 动时在棱镜结构内每个棱镜的第一反射面接收检测项目的侧面的反射光线; 以及,
当检测项目在沿着一维检测项目运输路径移动穿过检测区域时通过棱镜 结构上方时,利用位于棱镜结构中每个棱镜的第二端下方的图像数据生成系 统产生包括检测项目的多个侧面的一套图像数据;其中,
所述棱镜结构、图像数据生成系统和光组件置于检测平面的下方,同时 检测项目沿着一维的检测项目运输路径移动,并生成检测项目的包括多个侧 面的一套数据图像。
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