[发明专利]玻璃表面的异物检查装置及检查方法

摘要

本发明涉及一种玻璃表面的异物检查装置及检查方法，本发明的目的在于提供一种能够对被蒸镀有微电路的玻璃表面上可能产生的异物进行准确检查的玻璃表面的异物检查装置及检查方法。本发明的玻璃表面的异物检查装置的特征在于：以如下方式而构成，即，在所述玻璃基板的上部侧面与下部侧面上，分别一个个隔开既定的间隔而具有用以检测玻璃基板上的异物的激光照射部，且从所述激光照射部出射的光朝着与所述玻璃基板的移送方向相垂直的方向照射，从而能够毫无遗漏地准确检测出玻璃表面上所附着的异物。

主权项

一种玻璃表面的异物检查装置，对移送中的玻璃表面所存在的异物进行检查，其特征在于，包括：上部激光照射部，从玻璃基板上部的一侧面来照射上部激光，并到达上部的其他侧面为止；上部检测相机，让从所述上部激光照射部所照射的上部激光照射到所述玻璃基板的上表面之后，接收因异物而散射的光；以及检测信号处理部，对从所述上部检测相机所输出的影像信号进行分析，并判断所述玻璃基板上是否存在着异物。