[发明专利]玻璃表面的异物检查装置及检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种玻璃表面的异物检查装置及检查方法，更具体而言，本 发明涉及一种能够与玻璃基板的平坦度无关地准确检查被蒸镀有微电路图形 (Microcircuit Pattern)的面上的异物的玻璃表面的异物检查装置及检查 方法。

背景技术

在平板显示器所使用的玻璃的表面上存在着异物的情况下，如果在所述 异物上蒸镀有微电路图形，则会导致微电路图形的不良。因此，在蒸镀微电 路图形之前，必须准确检查所提供的玻璃基板(特别是应被蒸镀有电路的玻 璃表面)上是否存在着异物。

玻璃基板表面的检查是在移送玻璃基板的同时利用相机来进行检查，所 以即使在移送中玻璃基板的平坦度发生了变化，也必须进行准确检查。因此， 在现有的检查装置中，为了和玻璃基板的移送方向形成大的倾斜来照射极小 厚度的激光(laser)照明，补偿玻璃基板的平坦度的变化，而附加使用了用 以将相机与玻璃基板之间的距离固定地维持着的自动距离调节装置。但是， 所述现有的玻璃基板的异物检查装置对于异物附着在被蒸镀有电路的玻璃表 面(上表面)和未被蒸镀有电路的玻璃表面(下表面)中的哪一个面上的判 别是有限度的，因此存在着因玻璃基板的平坦度变化而使检查的准确度受到 影响的问题。

发明内容

本发明是为了解决所述问题而完成，其目的在于提供一种能够对被蒸镀 有微电路的玻璃表面上可能产生的异物进行准确检查的玻璃表面的异物检查 装置及检查方法。

本发明的另外其他目的在于提供一种即使移送中玻璃的平坦度发生了变 化，也不需要设置自动距离调节装置之类的其他的附加装置即可对玻璃表面 上可能产生的异物进行准确检查的玻璃表面的异物检查装置及检查方法。

为了实现上述目的，本发明公开了一种玻璃表面的异物检查装置，包括： 上部激光照射部，从所述玻璃基板上部的一侧面来照射激光，并到达上部的 其他侧面为止；上部检测相机，让从所述上部激光照射部所照射的激光照射 到所述玻璃基板的上表面之后，接收因异物而散射的光；以及检测信号处理 部，对从所述上部检测相机所输出的影像信号加以分析，并判断所述玻璃基 板上是否存在着异物。

为了实现上述目的，本发明还公开了一种玻璃表面的异物检查方法，对 移送中的玻璃表面所存在的异物进行检查，包括：

第一步骤、以从所述玻璃基板上部的一侧面而照射激光并到达上部的其 他侧面为止的方式，来对基板的上表面照射激光；

第二步骤、在所述第一步骤中照射的激光照射到了所述玻璃基板的上表 面之后，接收因异物而散射的光；以及

第三步骤、对所述第二步骤中输出的影像信号进行分析，并判断所述玻 璃基板上是否存在异物。

为了实现上述目的，本发明又公开了一种玻璃表面的异物检查方法，检 查移送中的玻璃表面所存在的异物附着在玻璃基板的上表面或下表面的哪一 个面上，其特征在于，包括：

第一步骤、对所述玻璃基板的上表面照射激光，接收因异物而散射的光， 并作为影像图像而输出；以及

第二步骤、对所述玻璃基板的下表面照射激光，接收因异物而散射的光， 并作为影像图像而输出。

换言之，本发明的玻璃表面的异物检查装置的特征在于，包括：

上部激光照射部，从所述玻璃基板上部的一个侧面来照射激光，并到达 上部的其他侧面为止；上部检测相机，让从所述上部激光照射部所照射的激 光照射到所述玻璃基板的上表面之后，接收因异物而散射的光；下部激光照 射部，从所述玻璃基板下部的一个侧面来照射激光，并到达下部的其他侧面 为止；下部检测相机，让从所述下部激光照射部所照射的激光照射到所述玻 璃基板的下表面之后，接收因异物而散射的光；以及检测信号处理部，对从 所述上部检测相机及下部检测相机所输出的影像信号加以分析，并判断所述 玻璃基板上异物的存在位置。

根据本发明的玻璃表面的异物检查装置及检查方法，当然能够毫无遗漏 地准确检测玻璃基板上所附着的异物，而且还能够准确把握是蒸镀有电路的 玻璃表面上产生了异物，还是未蒸镀有电路的玻璃表面上产生了异物。