[发明专利]具有交替掺杂源/漏形态的半导体元件有效
申请号: | 200910136498.3 | 申请日: | 2009-05-13 |
公开(公告)号: | CN101814524A | 公开(公告)日: | 2010-08-25 |
发明(设计)人: | 朱振梁;廖浚廷;陈斐筠;黄宗义 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/36 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是有关于一种具有交替掺杂源/漏形态的半导体元件。在本发明的一具体实施例中,此元件包含一基板和一形成于基板上的晶体管。晶体管包含一栅结构、一源区和一漏区。漏区包含一交替掺杂形态区域。交替掺杂形态区域包含高低掺杂浓度的交替区域。在本发明的一实施例中,晶体管为一高电压晶体管。 | ||
搜索关键词: | 具有 交替 掺杂 形态 半导体 元件 | ||
【主权项】:
一种半导体元件,其特征在于其包含:一基板;一晶体管元件,形成在该基板之上,其中该晶体管元件包含:一栅结构,一源区,及一漏区,其中该漏区包含一交替掺杂形态区域。
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