[发明专利]热处理装置

摘要

一种能够抑制因被加热物的热处理而产生的生成气体被冷却后而产生的升华物污染热处理室内以及升华物漏出的热处理装置。热处理装置(1)配备热处理室(12)、分离槽(25)、排气系统(26)、供气系统(27)以及送风设备部(30)。排气系统以及供气系统分别通过独立的系统与分离槽连接。热处理装置通过操作送风设备部的鼓风机(45)，于是，通过排气系统以及供气系统将气体导入分离槽内然后产生旋流，并且通过混合排气系统的高温气体与供气系统的低温气体，这样就能冷却前述高温气体，从而使包含在前述高温气体中的生成气体升华然后回收升华物。

主权项

1、一种热处理装置，其特征在于，具有：能够容纳并加热被加热物的热处理室；能够排出存在于所述热处理室内的气体的排气系统；导入通过该排气系统从前述热处理室排出的气体，分离气体与固体的分离槽；能够向该分离槽导入外界空气的供气系统；能够将存在于前述分离槽内侧的气体导出到前述分离槽外侧的导出设备；以及将被该导出设备导出至分离槽外侧的气体导入前述热处理室的导入系统，前述排气系统以及供气系统分别通过独立的系统与分离槽连接，通过排气系统从热处理室被排出的气体与通过供气系统被供给的外界空气在分离槽内汇合后混合，形成沿着前述分离槽的内周面流动的旋流。