[发明专利]热处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种热处理装置，特别是涉及一种能够确实捕获因热处理产生的生成气体升华后所产生的升华物的热处理装置。

背景技术

在下述专利文献1中记载的热处理装置过去一直被用于液晶显示器(LCD：Liquid Crystal Display)和等离子体显示器(PDP：PlasmaDisplay)、有机EL显示器等平面平板显示器(FPD：Flat Panel Display)的制作中。热处理装置是一种在热处理室内预先容纳对玻璃基板等基板(被加热物)涂敷特定的溶液而加热干燥后的基板，并使其曝露在被导入热处理室内的规定温度的热风中然后进行热处理(烧成)的装置。

专利文献1日本特许第2971771号公报

如果进行上述基板的热处理，那么，在热处理室内被涂敷在基板表面的溶液就会气化等从而产生生成气体。如果由此产生的生成气体被因取放基板而流入的外界空气等冷却，那么，包含在生成气体中的成分就会发生固化，产生所谓的升华物。升华物变成粒子状和焦油状，污染热处理室内并导致被加热物的品质下降，以及因取放被加热物等而泄漏到热处理装置的外部，从而产生污染设有热处理装置的室内等问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制因被加热物的热处理而产生的生成气体被冷却后而产生的升华物污染热处理室内以及升华物漏出的热处理装置。

为了解决上述课题而提供的本发明的热处理装置，其特征在于，配备能够容纳并加热被加热物的热处理室、能够排出存在于该热处理室内的气体的排气系统、导入通过该排气系统从前述热处理室排出的气体然后分离气体与固体的分离槽、能够向该分离槽导入外界空气的供气系统、能够将存在于前述分离槽内侧的气体向前述分离槽外侧导出的导出设备、以及将被该导出设备导出至分离槽外侧的气体导入前述热处理室中的导入系统，前述排气系统以及供气系统分别通过独立的系统与分离槽连接，通过排气系统从热处理室中被排出的气体与通过供气系统被供给的外界空气在分离槽内汇合后混合，形成沿着前述分离槽的内周面流动的旋流。在本申请中，“固体”不仅包括粒子状的升华物，也包括变成焦油状的升华物。

对于本发明的热处理装置，从为了加热被加热物而变成高温的热处理室排出气体的排气系统、以及导入外界空气用的供气系统分别用作独立系统，并且与分离槽连接。因此，从热处理室被排出的气体不会在排气系统的中途与外界空气混合，而是在高温状态下被导入分离气体与固体的分离槽中，通过供气系统被导入的低温外界空气与高温气体在分离槽内被混合、冷却。这样，在本发明的热处理装置中，即使在从热处理室内取出的气体中包含导致产生上述升华物的成分，也能防止其固化并附着在热处理室内和构成排气系统的配管等的内侧。因此，根据本发明的热处理装置，能够确实防止升华物附着在热处理室内和排气系统中，以及升华物泄漏到热处理装置的外部。

在本发明的热处理装置中，因被导入分离槽内的气体而形成沿着前述分离槽的内周面流动的旋流，因此，固化并借助旋流流动的升华物与气体分离。随着在分离槽内侧旋转，受离心力的影响，被与升华物分离的气体被导出设备导出，并从分离槽中被排出。另一方面，被与气体分离的升华物在分离槽内被回收。因此，在本发明的热处理装置中，能够确实回收在分离槽内固化产生的升华物，防止其向外部泄漏。

在本发明的热处理装置中，如上所述，与升华物分离并且被净化后的气体被导出设备导出，并从分离槽中排出。于是，从分离槽中被排出的气体通过导入系统被导入热处理室内，并被再次用于被加热物的热处理。此外，如上所述，对于通过导入系统而返回热处理室的气体，因其与通过供气系统被导入的外界空气相互混合，故变成产生升华物程度的低温，但是与外界空气相比它仍然是高温。因此，在本发明的热处理装置中，不仅可通过导入设备将处于温度较高状态下的气体供给热处理室然后进行被加热物的热处理，而且，能够最大限度地控制为了进行热处理而保持热处理室的高温状态所需的能量。根据这种构造，在本发明的热处理装置中，能够最大限度地控制进出热处理室的气体的温差，因此，能够很容易地稳定热处理室内的温度。

在上述本发明的热处理装置中，最好在导入系统的中途设置固体捕捉过滤器。在本申请中，“固体捕捉过滤器”不仅包括捕捉粒子状的升华物的过滤器，也包括捕捉变成焦油状的升华物的过滤器。

如果采用上述构造，即使在被导出设备从分离槽中导出并且从分离槽中被排出的气体中混入很少的升华物，也能确保用固体捕捉过滤器将其捕捉。因此，在本发明的热处理装置中，能够防止升华物通过导入系统流入热处理室中。