[发明专利]热处理装置

权利要求书

1、一种热处理装置，其特征在于，具有：

能够容纳并加热被加热物的热处理室；

能够排出存在于所述热处理室内的气体的排气系统；

导入通过该排气系统从前述热处理室排出的气体，分离气体与固体的分离槽；

能够向该分离槽导入外界空气的供气系统；

能够将存在于前述分离槽内侧的气体导出到前述分离槽外侧的导出设备；以及

将被该导出设备导出至分离槽外侧的气体导入前述热处理室的导入系统，

前述排气系统以及供气系统分别通过独立的系统与分离槽连接，

通过排气系统从热处理室被排出的气体与通过供气系统被供给的外界空气在分离槽内汇合后混合，形成沿着前述分离槽的内周面流动的旋流。

2、如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，在导入系统的中途设置固体捕捉过滤器。

3、如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，排气系统的末端部以及供气系统的末端部中的至少一个在分离槽的内侧相对于分离槽的内周面朝向接线方向突出。

4、权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，能够在沿着分离槽的内周面流动的气流中形成涡流的涡流发生设备被设置在分离槽的内侧。

5、权利要求1～4中任意一项所述的热处理装置，其特征在于，排气系统以及供气系统中的至少一个系统能够导入气体或者外界空气，从而在分离槽内朝着下方产生气流。

6、权利要求1～4中任意一项所述的热处理装置，其特征在于，实施了用来防止升华物附着在分离槽的内周面的一部分或者全部上的加工。

7、权利要求1～4中任意一项所述的热处理装置，其特征在于，通过排气系统被供给的气体与通过供气系统被供给的气体相互混合后形成的混合气体的温度被调整为包含在气体中的规定物质的固化温度以下的温度，并且是低于该固化温度规定温度的低温的温度范围内。

8、权利要求1～4中任意一项所述的热处理装置，其特征在于，排气系统、导入系统、供气系统、分离槽以及导出设备能够从热处理装置取下。

9、权利要求8所述的热处理装置，其特征在于，排气系统、导入系统、供气系统、分离槽以及导出设备构成一体化的单元。

10、权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，固体捕捉过滤器由HEPA过滤器以及/或者ULPA过滤器构成。

11、权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，涡流发生设备由翼片状的突起以及/或者突片构成。

12、权利要求6所述的热处理装置，其特征在于，用来防止升华物附着的加工是涂敷聚四氟乙烯、粘贴由聚四氟乙烯(PTFE)构成的树脂膜、以及镜面加工中的任意一个加工。