[发明专利]含有氨基苯磺酸的半水性溶脱和清洗组合物有效
| 申请号： | 200910128161.8 | 申请日： | 2009-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101531950A | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | M·I·埃格比;M·W·莱格恩扎;D·L·德拉姆 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | C11D1/22 | 分类号： | C11D1/22;C11D3/43;C11D3/44;H01L21/00;G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 陈文平;徐志明 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于除去高度交联的抗蚀剂和蚀刻残留物的半水性组合物及其使用方法。该组合物包含氨基苯磺酸、可与水混溶的有机溶剂和水。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 氨基 苯磺酸 水性 清洗 组合 | ||
【主权项】：
1、一种半水性溶脱和清洗组合物，包含：a. 0.5％至10％的氨基苯磺酸或其对应的盐，b. 30％至90％的可与水混溶的有机溶剂，和c. 5％至70％的水；其中该组合物的pH值为6-11。
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