[发明专利]药液的涂敷固化装置和涂敷固化方法无效
| 申请号： | 200910118748.0 | 申请日： | 2009-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN101587301A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 高桥伸明;田内启士 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B41J2/01 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能削减装置的设备成本和设置空间，使生产率和药液的使用效率提高的药液的涂敷固化装置。在将药液涂敷于被处理体(W)的表面并使其固化的涂敷固化装置(2)中，包括：具有利用外部搬送机构(70)对被处理体进行搬入搬出的搬入搬出口(10)的处理容器(4)；设置在处理容器内，载置被处理体的载置台(24)；打开关闭搬入搬出口的开闭闸门部(12)；设在搬入搬出口的外侧，将药液涂敷到被处理体的表面的涂敷机构(4)；和设在处理容器中，使涂敷在被处理体表面的药液固化而形成薄膜的固化单元(26)。由此能够在一体化装置中进行药液的涂敷机能和固化被涂敷的药液的固化机能，从而能削减装置的设备成本和设置空间。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 固化 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种药液的涂敷固化装置，其特征在于：该药液的涂敷固化装置将药液涂敷在被处理体的表面并使该药液固化，其包括：具有利用外部的搬送机构对所述被处理体进行搬入搬出的搬入搬出口的处理容器；设置在所述处理容器内，载置所述被处理体的载置台；打开关闭所述搬入搬出口的开闭闸门部；设置在所述搬入搬出口的外侧，将所述药液涂敷在所述被处理体的表面的涂敷机构；和设置在所述处理容器中，使涂敷在所述被处理体的表面的所述药液固化而形成薄膜的固化单元。
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