[发明专利]药液的涂敷固化装置和涂敷固化方法

权利要求书

1.一种药液的涂敷固化装置，其特征在于：

该药液的涂敷固化装置将药液涂敷在被处理体的表面并使该药液固化，其包括：

具有利用外部的搬送机构对所述被处理体进行搬入搬出的搬入搬出口的处理容器；

设置在所述处理容器内，载置所述被处理体的载置台；

打开关闭所述搬入搬出口的开闭闸门部；

设置在所述搬入搬出口的外侧，将所述药液涂敷在所述被处理体的表面的涂敷机构；和

设置在所述处理容器中，使涂敷在所述被处理体的表面的所述药液固化而形成薄膜的固化单元。

2.根据权利要求1所述的药液的涂敷固化装置，其特征在于：

所述固化单元由加热所述被处理体的加热单元构成。

3.根据权利要求2所述的药液的涂敷固化装置，其特征在于：

所述加热单元由加热器或者加热灯构成。

4.根据权利要求1所述的药液的涂敷固化装置，其特征在于：

所述固化单元由紫外线灯构成。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的药液的涂敷固化装置，其特征在于：

所述涂敷机构包括：

药液喷射头部，该药液喷射头部具有药液喷射面，该药液喷射面在遍及与所述被处理体的直径或宽度相同或者比该直径或宽度长的长度上形成有多个药液喷射孔；和

喷射控制部，当从所述搬入搬出口向所述处理容器内搬入所述被处理体时，控制从所述药液喷射头部喷射所述药液。

6.如权利要求5所述的药液的涂敷固化装置，其特征在于：

所述喷射控制部分别控制所述多个药液喷射孔。

7.如权利要求5所述的药液的涂敷固化装置，其特征在于：

在所述药液喷射头部的下方设置有用于接收从所述药液喷射头部喷射的所述药液的接收部。

8.如权利要求5所述的药液的涂敷固化装置，其特征在于：

在所述搬入搬出口的外侧设置有对被搬入的所述被处理体进行检测的检测传感器部，所述喷射控制部根据所述检测传感器部的输出来控制所述药液喷射头部的动作。

9.如权利要求5所述的药液的涂敷固化装置，其特征在于：

所述喷射控制部与所述搬送机构的搬入动作同步来控制所述药液喷射头部的动作。

10.如权利要求5所述的药液的涂敷固化装置，其特征在于：

所述药液喷射孔的间距在30～3000μm的范围内。

11.如权利要求5所述的药液的涂敷固化装置，其特征在于：

所述药液喷射孔的间距在10～200μm的范围内。

12.一种药液的涂敷固化方法，其特征在于：

该药液的涂敷固化方法将药液涂敷在被处理体的表面并使该药液固化，其包括：

涂敷工序，在利用外部的搬送机构将所述被处理体向具有搬入搬出口的处理容器内进行搬入的同时，利用设置在所述搬入搬出口的外侧的涂敷机构将所述药液涂敷到所述被处理体的表面；和

固化工序，在所述处理容器内使涂敷在所述被处理体的表面的所述药液固化。