[发明专利]扫描蒸镀制膜的方法及设备有效
| 申请号： | 200910087009.X | 申请日： | 2009-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101619441A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 冯焕培;黎志欣;王军 | 申请（专利权）人： | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 闫立德 |
| 地址： | 100176北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于一种扫描蒸镀制膜的方法及设备，该方法设置使工作状态下的电子枪摆动或移动的装置，使电子枪在移动状态下进行喷镀。该设备采用电子枪位于摆动装置上，电子枪在移动状态下进行喷镀。本发明的方法使电子枪在移动状态下进行喷镀，镀膜均匀，方法简便可行。该设备使电子枪在移动状态下进行喷镀，具有镀膜均匀，速度快，价格低，质量好，可大幅度提高基板光电转换率，并大幅延长其使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 蒸镀制膜 方法 设备 | ||
【主权项】：
1、一种扫描蒸镀制膜的方法，其特征在于：设置使工作状态下的电子枪摆动或移动的装置，使电子枪在移动状态下进行喷镀。
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