[发明专利]扫描蒸镀制膜的方法及设备

权利要求书

1.一种扫描蒸镀制膜的设备，其特征在于：

设置使工作状态下的电子枪摆动的装置，使电子枪在移动状态下进行喷镀；

设备主要由多个电子枪、机架和真空腔体所组成，电子枪位于摆动装置上， 电子枪在移动状态下进行喷镀；

所述的摆动装置是：扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位 于真空腔体内，扫描支架与真空腔体之间通过磁流体密封装置轴接，扫描支架 下端连接大带轮；摆盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧，摆 盘与扫描支架通过磁流体密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有 电子枪；传动装置，包括传动扫描支架的电机、减速器、传送轮、传送带和传 动摆盘的电机、传送轮和传送带，传动摆盘的电机、传送轮和传送带位于扫描 支架内，传动摆盘的电机通过传送轮和传送带带动摆盘轮，传动扫描支架的电 机通过减速器、传送轮和传送带带动扫描支架转动；

或所述的摆动装置是：扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端 位于真空腔体内，扫描支架与真空腔体之间通过磁流体密封装置轴接，扫描支 架下端连接大带轮；摆盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧； 传动装置，由传动扫描支架的电机、减速器、传送轮、传送带所构成，传动扫 描支架的电机通过减速器、传送轮和传送带带动扫描支架转动；

或所述的摆动装置是：扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端 位于真空腔体内；摆盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧，摆 盘与扫描支架通过磁流体密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有 电子枪；传动装置，由传动摆盘的电机、传送轮和传送带所构成，传动摆盘的 电机、传送轮和传送带位于扫描支架内，传动摆盘的电机通过传送轮和传送带 带动摆盘轮；

或所述的摆动装置是：扫描支架，其内中空，扫描支架的一端位于真空腔 体内其上设有摆盘，位于真空腔体内的扫描支架与真空腔体之间通过密封波纹 管轴接，扫描支架另一端位于真空腔体外并与直线导轨滑配，位于真空腔体外 的扫描支架侧端与滚珠丝杆螺接；摆盘，呈中空T字形，位于真空腔体内的扫描 支架内侧上端，摆盘与扫描支架通过磁流体密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘 轮，摆盘上端设有电子枪；传动装置，包括传动扫描支架的电机、电机轮、传 送带、传送轮、受传送轮带动的滚珠丝杆和传动摆盘的电机、传送轮和传送带， 传动摆盘的电机、传送轮和传送带位于扫描支架内，传动摆盘的电机通过传送 轮和传送带带动摆盘轮，传动扫描支架的电机通过电机轮、传送带、传送轮和 受传送轮带动的滚珠丝杆带动扫描支架左右移动。

2.按权利要求1所述的设备，其特征在于：所述的电子枪的数量为数个，电 子枪位于摆盘上端。

3.按权利要求1所述的设备，其特征在于：所述的位于摆盘上的电子枪呈十 字分布。