[发明专利]激光直接绘制装置无效
| 申请号： | 200910003408.3 | 申请日： | 2009-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN101526736A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 安藤护俊 | 申请（专利权）人： | 株式会社阿迪泰克工程 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈 坚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光直接绘制装置，该激光直接绘制装置能够精度良好且简单地进行光束的投射位置的旋转调整。设置于DMD(7)和基板(W)之间的玻璃板(1)形成为长方形的板状，并保持在由固定框架(20)支撑的压电元件(21)上。压电元件(21)设于玻璃板(1)的相对置的两个端部(10、10)的两端部，即设置在长方形玻璃板(1)的四个角部(11)，通过扭转控制装置(2)的控制，压电元件(21a、21b、21c、21d)分别适当地进行伸展、缩短，从而使端部(10、10)向相反方向扭转。由此，玻璃板(1)的表面角度改变，对透过玻璃板(1)照射到基板(W)上的激光束在基板(W)上的照射位置进行调整。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 直接 绘制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光直接绘制装置，其通过使多条激光束接通和切断并照射到对象物上，来形成预定图案的潜像，其特征在于，该激光直接绘制装置具有：板状的透射体，其设于所述对象物上，用于使所述多条激光束透射；以及将该板状的透射体的两端向相反方向扭转的构件，通过调整该扭转构件的扭转角来调整所述多条激光束之间的间隔。
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