[发明专利]激光直接绘制装置无效
| 申请号： | 200910003408.3 | 申请日： | 2009-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN101526736A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 安藤护俊 | 申请（专利权）人： | 株式会社阿迪泰克工程 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈 坚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 直接 绘制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种激光直接绘制装置，其通过使多条激光束接通和切断并照射到对象物上，来形成预定图案的潜像，其特征在于，
该激光直接绘制装置具有：
板状的透射体，其设于所述对象物上，用于使所述多条激光束透射；以及
将该板状的透射体的两端向相反方向扭转的构件，
通过调整该扭转构件的扭转角来调整所述多条激光束之间的间隔。
2.根据权利要求1所述的激光直接绘制装置，其特征在于，
通过空间光调制器来进行所述激光束的接通和切断。
3.根据权利要求1所述的激光直接绘制装置，其特征在于，
所述扭转构件具有设置在所述透射体的端部的压电元件。
4.根据权利要求1所述的激光直接绘制装置，其特征在于，
所述扭转构件具有设置于所述透射体的端部的机械螺钉。
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