[发明专利]压电振动器、振荡器、电子设备、电波钟以及压电振动器的制造方法无效
| 申请号： | 200880131917.8 | 申请日： | 2008-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN102204088A | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 鬼塚修;福田纯也;须釜一义 | 申请（专利权）人： | 精工电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/19;H03H9/21;H03H9/215 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;王忠忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的压电振动器，其中包括：基底基板及盖基板，它们互相接合并且在它们之间形成有空腔；压电振动片，具有平行延伸的一对振动腕部，并在所述空腔内装配于所述基底基板上；以及金属膜的吸气材料，以配置到所述空腔内的方式形成在所述基底基板上或所述盖基板上，通过加热提高空腔内的真空度。在所述基底基板或所述盖基板形成有限制部，该限制部配置在所述空腔内，并且限制因加热而蒸发的所述吸气材料的飞散方向，从而抑制向所述振动腕部飞散的飞散量。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动器 振荡器 电子设备 电波 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压电振动器的制造方法，制造这样的压电振动器，其包括：基底基板及盖基板，它们互相接合并且在它们之间形成有空腔；压电振动片，具有平行延伸的一对振动腕部，并在空腔内装配于基底基板上；以及金属膜的吸气材料，通过加热提高所述空腔内的真空度，所述制造方法的特征在于，包括：吸气材料形成工序，将所述吸气材料以配置到所述空腔内的方式形成在所述基底基板上或所述盖基板上；限制部形成工序，将限制部以配置到所述空腔内的方式形成在所述基底基板或所述盖基板，该限制部限制因加热而蒸发的所述吸气材料的飞散方向，抑制向所述振动腕部飞散的飞散量；以及接合工序，在结束所述吸气材料形成工序及所述限制部形成工序之后，将所述压电振动片装配在所述基底基板上，其后，以使压电振动片、所述吸气材料及所述限制部分别收容到所述空腔内的方式互相接合所述基底基板和所述盖基板。
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