[发明专利]压电振动器、振荡器、电子设备、电波钟以及压电振动器的制造方法

权利要求书

1.一种压电振动器的制造方法，制造这样的压电振动器，其包括：基底基板及盖基板，它们互相接合并且在它们之间形成有空腔；压电振动片，具有平行延伸的一对振动腕部，并在空腔内装配于基底基板上；以及金属膜的吸气材料，通过加热提高所述空腔内的真空度，所述制造方法的特征在于，包括：

吸气材料形成工序，将所述吸气材料以配置到所述空腔内的方式形成在所述基底基板上或所述盖基板上；

限制部形成工序，将限制部以配置到所述空腔内的方式形成在所述基底基板或所述盖基板，该限制部限制因加热而蒸发的所述吸气材料的飞散方向，抑制向所述振动腕部飞散的飞散量；以及

接合工序，在结束所述吸气材料形成工序及所述限制部形成工序之后，将所述压电振动片装配在所述基底基板上，其后，以使压电振动片、所述吸气材料及所述限制部分别收容到所述空腔内的方式互相接合所述基底基板和所述盖基板。

2.如权利要求1所述的压电振动器的制造方法，其中，

在进行所述限制部形成工序之际，在一个基板侧以壁状地形成所述限制部，以从所述基底基板和所述盖基板中的一个基板向另一基板突出，且，从所述空腔的侧壁分离的状态沿着所述振动腕部延伸，

在进行所述吸气材料形成工序之际，在所述一个基板形成所述吸气材料，以比所述限制部短的长度配置在限制部与所述侧壁之间。

3.如权利要求1所述的压电振动器的制造方法，其中，

在进行所述限制部形成工序之际，在一个基板侧形成所述限制部，以从所述基底基板和所述盖基板中的一个基板向另一基板突出，且，沿着所述振动腕部延伸，

在进行所述吸气材料形成工序之际，在限制部上或另一基板上形成所述吸气材料，以收容于互相对置的所述限制部和所述另一基板的间隙。

4.一种压电振动器，其中包括：

基底基板及盖基板，它们互相接合并且在它们之间形成有空腔；

压电振动片，具有平行延伸的一对振动腕部，并在所述空腔内装配于所述基底基板上；以及

金属膜的吸气材料，以配置到所述空腔内的方式形成在所述基底基板上或所述盖基板上，通过加热提高空腔内的真空度，

在所述基底基板或所述盖基板形成有限制部，该限制部配置在所述空腔内，并且限制因加热而蒸发的所述吸气材料的飞散方向，从而抑制向所述振动腕部飞散的飞散量。

5.如权利要求4所述的压电振动器，其中，

在一个基板侧以壁状形成所述限制部，以从所述基底基板和所述盖基板中的一个基板向另一基板突出，且，以从所述空腔的侧壁分离的状态沿着所述振动腕部延伸，

在所述一个基板侧形成所述吸气材料，以比所述限制部短的长度配置在限制部与所述侧壁之间。

6.如权利要求4所述的压电振动器，其中，

在一个基板侧形成所述限制部，以从所述基底基板和所述盖基板中的一个基板向另一基板突出，且，沿着所述振动腕部延伸，

所述吸气材料以收容于互相对置的所述限制部与所述另一基板的间隙的状态形成在限制部上或另一基板上。

7.一种振荡器，其特征在于，使权利要求4至6中任一项所述的压电振动器，作为振子与集成电路电连接。

8.一种电子设备，其特征在于，使权利要求4至6中任一项所述的压电振动器，与计时部电连接。

9.一种电波钟，其特征在于，使权利要求4至6中任一项所述的压电振动器，与滤波部电连接。