[发明专利]修正探针卡及卡盘板间的平行性的装置及方法

摘要

本发明提供一种用来修正晶片探测器的探针卡及卡盘板间的平行性装置及方法。在该方法中，测量该探针卡的倾斜。标识对应该已测得的倾斜在基座及该卡盘板间的间距的复数段位移信息，是相对该基座及该卡盘板间的多个第一位置产生。分别驱动安装在该基座及该卡盘板间的第二位置处的多个致动器，以便使该基座及该卡盘板以不同角度变得彼此远离或变得彼此靠近，直到所感测的位移信息的片段追踪该的位移信息片段，该所感测的位移信息的片段是由安装在该基座及该卡盘板间的第一预设位置处的多个位移传感器输出。

主权项

一种用来修正晶片探测器的探针卡及卡盘板间的平行性的方法，其包含如下步骤：测量该探针卡的倾斜；产生相对该基座及该卡盘板间的多个第一预设位置的多个的位移信息片段，其标识用来垂直地支撑该卡盘板的基座及该卡盘板间的间距，以对应该探针卡所测得的倾斜；及分别驱动安装在该基座及该卡盘板间的第二预设位置处的多个致动器，以便使该基座及该卡盘板以不同角度变得彼此远离或变得彼此靠近，直到多个的所感测位移信息片段分别追踪该多个的位移信息片段，该多个所感测位移信息片段来自安装在该基座及该卡盘板间的第一预设位置处的多个位移传感器，并通过感测在其安装位置处的基座及该卡盘板间的间距输出，其中该卡盘板追踪该探针卡的倾斜，并且因此该卡盘板及该探针卡彼此平行地布置。