[发明专利]修正探针卡及卡盘板间的平行性的装置及方法

权利要求书

1.一种用来修正晶片探测器的探针卡及卡盘板间的平行性的方法，其包含如下步骤：

测量该探针卡的倾斜；

产生相对该基座及该卡盘板间的多个第一预设位置的多个的位移信息片段，其标识用来垂直地支撑该卡盘板的基座及该卡盘板间的间距，以对应该探针卡所测得的倾斜；及

分别驱动安装在该基座及该卡盘板间的第二预设位置处的多个致动器，以便使该基座及该卡盘板以不同角度变得彼此远离或变得彼此靠近，直到多个的所感测位移信息片段分别追踪该多个的位移信息片段，该多个所感测位移信息片段来自安装在该基座及该卡盘板间的第一预设位置处的多个位移传感器，并通过感测在其安装位置处的基座及该卡盘板间的间距输出，

其中该卡盘板追踪该探针卡的倾斜，并且因此该卡盘板及该探针卡彼此平行地布置。

2.如权利要求1的方法，其中该探针卡的倾斜是对通过通过影像装置形成该探针卡的影像所取得的信息测量得到。

3.一种用来修正晶片探测器的探针卡及卡盘板间的平行性的装置，其包含：

成像装置，其配置来形成该探针卡的影像；

主要控制装置，其侦测来自该成像装置所输出的成像信息测量该探针卡的倾斜，并产生相对该基座及该卡盘板间的第一预设位置的多个的位移信息片段，其标识用来垂直地支撑该卡盘板的基座及该卡盘板间的间距，以对应该探针卡的测得的倾斜；

多个位移传感器，其分别安装在该基座及该卡盘板间的第一预设位置处，并用来感测在其安装位置处的基座及该卡盘板间的间距，以及输出对应该已感测间距的多个的已感测位移信息片段；

多个致动器，其分别安装在该基座及该卡盘板间的第二预设位置处，并用来允许该基座及该卡盘板在其安装位置处变得彼此远离或彼此靠近；及

控制装置，其用来接收来自该主要控制装置的多个的位移信息片段，并驱动该多个致动器直到该多个的已感测位移信息片段追踪该多个的位移信息片段，

其中该卡盘板追踪该探针卡的倾斜，并且因此该卡盘板及该探针卡彼此平行地布置。

4.如权利要求3的装置，其中该控制装置包括：

比较器，其用来接收该多个的位移信息片段及该多个的已感测位移信息片段，并输出其比较结果；及

比例-积分-微分控制器，其用来输出驱动该多个致动器的驱动命令，直到该比较结果到达默认值为止。