[发明专利]干膜抗蚀剂的多层膜有效
| 申请号： | 200880123520.4 | 申请日： | 2008-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN101911843A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 宋起相;金时敏;金允照 | 申请（专利权）人： | 可隆工业株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种多层膜包括：第一表面层和与所述第一表面层相对的第二表面层，其中所述第一表面层的粘度a和所述第二表面层的粘度b满足以下方程式：[方程式1]b＞a。根据本发明的干膜抗蚀剂不采用常规的无凝胶聚乙烯保护遮盖膜。因此，可以减少产生不良图案，例如缺损或断路，所述缺损或断路是由于在形成布线图案时保护遮盖膜产生的鱼眼或杂质造成的。 | ||
| 搜索关键词： | 干膜抗蚀剂 多层 | ||
【主权项】：
一种多层膜，所述多层膜包括：第一表面层和与所述第一表面层相对的第二表面层，其中，所述第一表面层的粘度a和所述第二表面层的粘度b满足以下方程式：[方程式1]b＞a。
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