[发明专利]干膜抗蚀剂的多层膜

权利要求书

1.一种多层膜，所述多层膜包括：第一表面层和与所述第一表面层相对的第二表面层，其中，所述第一表面层的粘度a和所述第二表面层的粘度b满足以下方程式：

[方程式1]

b＞a。

2.根据权利要求1所述的多层膜，其中，所述第一表面层包含0.001-5wt％的添加剂，所述第二表面层不包含添加剂或包含少于0.5wt％的添加剂，并且所述第一表面层的粘度a和所述第二表面层的粘度b满足以下方程式：

[方程式2]

b/a＝1.2～5。

3.根据权利要求2所述的多层膜，其中，所述多层膜通过混合挤压制备。

4.根据权利要求2所述的多层膜，其中，所述添加剂包括：从由以下组成的组中选择的至少一种无机颗粒：硬碳酸钙、二氧化硅、硫酸钡、氧化钠、硫酸钠、高岭土和滑石；从由以下组成的组中选择的至少一种有机颗粒：硅树脂、交联丙烯酸树脂、和交联聚苯乙烯树脂、苯鸟粪胺甲醛树脂、苯鸟粪胺三聚氰胺甲醛树脂和三聚氰胺甲醛树脂；从由以下组成的组中选择的至少一种润滑剂：如亚乙基双硬脂酰胺的高级脂肪酸酰胺，如硬脂酸钙的高级脂肪酸金属盐，以及其它高级脂肪酸酰胺；以及上述颗粒和润滑剂的混合物。

5.根据权利要求4所述的多层膜，其中，所述无机颗粒和所述有机颗粒的平均颗粒大小是1-10μm。

6.一种功能膜，其中，功能层堆叠在如权利要求1或2所述的多层膜的具有较高粘度的第二表面层上。

7.一种干膜抗蚀剂，其中，光敏层堆叠在如权利要求1或2所述的多层膜的具有较高粘度的第二表面层上。

8.根据权利要求7所述的干膜抗蚀剂，其中，第一表面层包含0.001-5wt％的添加剂，第二表面层不包含添加剂或包含少于0.5wt％的添加剂，并且第一表面层的粘度a和第二表面层的粘度b满足以下方程式：

[方程式2]

b/a＝1.2～5。

9.根据权利要求8所述的干膜抗蚀剂，其中，所述多层膜通过混合挤压制备。

10.根据权利要求8所述的干膜抗蚀剂，其中，所述添加剂包括从由以下组成的组中选择的至少一种无机颗粒：硬碳酸钙、二氧化硅、硫酸钡、氧化钠、硫酸钠、高岭土和滑石；从由以下组成的组中选择的至少一种有机颗粒：硅树脂、交联丙烯酸树脂、和交联聚苯乙烯树脂、苯鸟粪胺甲醛树脂、苯鸟粪胺三聚氰胺甲醛树脂和三聚氰胺甲醛树脂；从由以下组成的组中选择的至少一种润滑剂：如亚乙基双硬脂酰胺的高级脂肪酸酰胺，如硬脂酸钙的高级脂肪酸金属盐，以及其它高级脂肪酸酰胺；以及上述颗粒和润滑剂的混合物。

11.根据权利要求10所述的干膜抗蚀剂，其中，所述无机颗粒和所述有机颗粒的平均颗粒大小是1-10μm。

12.根据权利要求8所述的多层膜，其中，通过卷绕所述干膜抗蚀剂制备圆筒型干膜抗蚀剂，从而所述光敏层与所述多层膜的具有较低粘度的第一表面层接触。