[发明专利]研磨垫有效
| 申请号： | 200880105911.3 | 申请日： | 2008-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN101795817A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 松村泰;高木正孝 | 申请（专利权）人： | 富士纺控股公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种可抑制被研磨物的擦伤、滑离的发生而可使平坦性提升的研磨垫。研磨垫(1)是具备具有用以研磨加工被研磨物的研磨面(P)的聚胺基甲酸乙酯薄片(2)、以及接合在研磨面(P)的相反面侧且具有弹性的弹性薄片(3)。聚胺基甲酸乙酯薄片(2)是设定成其压缩率是比弹性薄片(3)的压缩率还大、而其A硬度是设定成比弹性薄片(3)的硬度还小。而弹性薄片(3)，其压缩率是设定在1％以上，而其A硬度则是设定在90度以下。又，聚胺基甲酸乙酯薄片(2)及弹性薄片(3)皆形成为厚度0.2mm以上的薄片。当进行研磨加工时，聚胺基甲酸乙酯薄片(2)可发挥柔软性，使得聚胺基甲酸乙酯薄片(2)可边变形，边使研磨面(P)大致均等地被按压在被研磨物上。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 | ||
【主权项】：
一种研磨垫，特征在于其包含：对被研磨物进行研磨加工用的研磨面的软质塑胶薄片，及接合在前述研磨面的相反面侧的弹性体，前述软质塑胶薄片具有比前述弹性体还大的压缩率及较其还小的A硬度，前述弹性体的压缩率是1％以上，且A硬度是90度以下，前述软质塑胶薄片及前述弹性体的厚度皆为0.2mm以上。
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