[发明专利]研磨垫

权利要求书

1.一种研磨垫，特征在于其包含：

对被研磨物进行研磨加工用的研磨面侧具有表皮层的软质塑胶薄 片，及接合在前述研磨面的相反面侧的弹性体，前述软质塑胶薄片及前述弹 性体皆为利用湿式成膜所形成的聚胺基甲酸乙酯树脂所制，且内部具有形 成发泡的发泡构造，前述软质塑胶薄片具有比前述弹性体还大的压缩率及 较其还小的A硬度，前述弹性体的压缩率是1％以上，且A硬度是90度以下， 前述软质塑胶薄片及前述弹性体的厚度皆为0.2mm以上。

2.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于前述弹性体为，压缩率 是25％以下，且A硬度是30度以上。

3.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于前述软质塑胶薄片为，压 缩率介于2％-65％的范围，且A硬度介于5度-50度的范围。

4.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于前述软质塑胶薄片及前 述弹性体的厚度皆为2.0mm以下。

5.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于前述软质塑胶薄片及前 述弹性体的弹性率皆为60％以上。

6.根据权利要求3所述的研磨垫，其特征在于前述软质塑胶薄片为，压 缩率介于4％-20％的范围，且A硬度介于25度-35度的范围。

7.根据权利要求2所述的研磨垫，其特征在于前述弹性体为，压缩率 介于2％-7％的范围，且A硬度介于45度-60度的范围。

8.根据权利要求5所述的研磨垫，其特征在于前述软质塑胶薄片及前 述弹性体的弹性率皆介于85％-100％的范围。

9.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于前述软质塑胶薄片及前 述弹性体是利用聚胺基甲酸乙酯树脂溶液接合。