[发明专利]用于电压/电流探针测试装置的方法和设备有效
| 申请号： | 200880105513.1 | 申请日： | 2008-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101796624A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 加理·M·莱姆森 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/00;H01L21/3065;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海华晖信康知识产权代理事务所(普通合伙) 31244 | 代理人： | 樊英如 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种用以执行电气测量以校准等离子处理室探针的诊断工具。该诊断工具包括RF发生器。该诊断工具还包括第一阻抗电路。该第一阻抗电路是电压负载网络，配置为当来自该RF发生器的RF功率输送至该第一阻抗电路时输送来自该RF发生器的RF电压输出用以电压测量。该诊断工具进一步包括第二阻抗电路。该第二阻抗电路是电流负载网络，配置为当来自该RF发生器的RF功率输送至该第二阻抗电路时输送来自该RF发生器的RF电流输出用以电流测量。该诊断工具进一步包括同轴交换网络装置配置为提供可切换RF输送路径以将来自该RF发生器的RF功率输送至该第一阻抗电路和该第二阻抗电路之一。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电压 电流 探针 测试 装置 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种用以执行电气测量以校准等离子处理室探针的诊断工具，包括：RF发生器；第一阻抗电路，所述第一阻抗电路是电压-负载网络，配置为当来自该RF发生器的RF功率输送至该第一阻抗电路时输送来自该RF发生器的RF电压输出用于电压测量，其中该RF电压输出在大约200伏特至大约6100伏特的范围内；第二阻抗电路，所述第二阻抗电路是电流负载网络，配置为当来自该RF发生器的RF功率输送至该第二阻抗电路时输送来自该RF发生器的RF电流输出用于电流测量，其中该RF电流输出在大约2安培至大约50安培的范围内；以及同轴交换网络装置，配置为提供可切换RF输送路径以将来自该RF发生器的RF功率输送至该第一阻抗电路和该第二阻抗电路之一。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
