[发明专利]用于电压/电流探针测试装置的方法和设备

权利要求书

1.一种用以执行电气测量以校准等离子处理室探针的诊断工具， 包括：

RF发生器；

第一阻抗电路，所述第一阻抗电路是电压-负载网络，配 置为当来自该RF发生器的RF功率输送至该第一阻抗电路时 输送来自该RF发生器的RF电压输出用于电压测量，其中该 RF电压输出在200伏特至6100伏特的范围内；

第二阻抗电路，所述第二阻抗电路是电流-负载网络，配 置为当来自该RF发生器的RF功率输送至该第二阻抗电路时 输送来自该RF发生器的RF电流输出用于电流测量，其中该 RF电流输出在2安培至50安培的范围内；以及

同轴交换网络装置，配置为提供可切换RF输送路径以将 来自该RF发生器的RF功率输送至该第一阻抗电路和该第二 阻抗电路之一。

2.根据权利要求1所述的诊断工具，进一步包括：

RF电压控制装置，所述RF电压控制装置配置为命令所 述RF发生器输出所述RF功率以匹配预定的软件定义的设定 值；

控制PCB探针信号引导装置，所述控制PCB探针信号引 导装置配置为允许引导电子信号通过所述第一阻抗电路和所 述第二阻抗电路之一以测量所述探针的电气值；以及

系统连锁，所述系统连锁包括控制PCB连锁继电器装置， 其配置为当满足至少预定条件之一时防止所述诊断工具传送 来自所述RF发生器的所述RF功率。

3.根据权利要求1所述的诊断工具，其中所述RF发生器是50 欧姆发生器。

4.根据权利要求1所述的诊断工具，其中调谐所述电压-负载网 络以匹配所述RF发生器的阻抗。

5.根据权利要求1所述的诊断工具，其中调谐所述电流-负载网 络以匹配所述RF发生器的阻抗。

6.根据权利要求1所述的诊断工具，其中调谐所述电流-负载网 络以在13.56MHz谐振。

7.根据权利要求1所述的诊断工具，其中所述同轴交换网络装置 包括衰减器。

8.根据权利要求2所述的诊断工具，其中所述RF电压控制装置 包括数据采集板。

9.根据权利要求2所述的诊断工具，其中所述RF电压控制装置 是闭环RF电压控制装置。

10.根据权利要求2所述的诊断工具，其中所述控制PCB探针信 号引导装置包括多个单刀双掷继电器。

11.根据权利要求2所述的诊断工具，其中所述控制PCB探针信 号引导装置包括多个双刀双掷继电器。

12.根据权利要求2所述的诊断工具，其中所述控制PCB连锁继 电器装置包括连锁继电器。

13.根据权利要求2所述的诊断工具，其中所述控制PCB连锁继 电器装置包括电压箝位电路和达灵顿电路。

14.根据权利要求2所述的诊断工具，其中所述系统连锁包括电压- 负载连锁开关和电流-负载连锁开关。

15.根据权利要求2所述的诊断工具，其中所述系统连锁包括多个 泄漏检测开关。

16.根据权利要求2所述的诊断工具，其中所述系统连锁包括流动 开关和水阀门。