[发明专利]利用可制造性模型的鲁棒设计

摘要

本发明能够利用可制造性模型实现鲁棒设计。可以在集成电路设计中提供一种方法、系统和/或计算机可用介质，以跟踪对晶片之间和/或工厂之间的过程变化的灵敏度，以便辅助设计人员预见到变化，从而改善产品的最终产率。

主权项

一种用于鲁棒设计的方法，包括：识别一个或多个表征集成电路特征尺度的一个或多个变化的模型，其中所述一个或多个变化是由至少一个制造过程与至少一个集成电路设计的区段上的设计图案或特征之间的相互作用造成的；组合来自所述一个或多个模型的被表征的一个或多个变化，以产生所述设计的一个或多个几何参数中的变化数据的条件分布、范围或统计度量。