[发明专利]光学元件保持装置、镜筒、曝光装置以及器件的制造方法无效
| 申请号： | 200880100236.5 | 申请日： | 2008-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN101772720A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 冈田尚也 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20;H01L21/027;G02B7/198 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 经志强;杨林森 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在光学元件保持装置(29)的不锈钢制框体(45)内，收纳与框体(45)的线膨胀系数不同的铝制缓冲部件(88)。使缓冲部件(88)与旋转链构件(81)的第1部件(81a)抵接。框体(45)具有被狭缝(75)分割的旋转链构件(81)、第2连接构件(80)、第1连接构件(79)以及移动构件(78)。缓冲部件(88)伴随温度变化而伸长，其产生的驱动力，通过旋转链构件(81)、第2连接构件(80)、第1连接构件(79)以及移动构件(78)被放大，传递到支撑部件(44)，使支撑部件(44)向透镜(28)侧移动。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 保持 装置 镜筒 曝光 以及 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光学元件保持装置，其保持光学元件，其特征在于，具有：保持部件，其保持上述光学元件，且具有与上述光学元件的线膨胀系数不同的线膨胀系数；和连接机构，其将上述光学元件和上述保持部件连接起来，上述连接机构具有缓冲部，该缓冲部具有与上述保持部件的线膨胀系数不同的线膨胀系数。
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