[发明专利]光学元件保持装置、镜筒、曝光装置以及器件的制造方法

权利要求书

1.一种光学元件保持装置，其保持光学元件，其特征在于，具有：

保持部件，其保持上述光学元件，且具有与上述光学元件的线膨胀系数不同的线膨胀系数；和

连接机构，其将上述光学元件和上述保持部件连接起来，

上述连接机构具有缓冲部，该缓冲部具有与上述保持部件的线膨胀系数不同的线膨胀系数。

2.根据权利要求1所述的光学元件保持装置，其特征在于，

上述光学元件的线膨胀系数、上述保持部件的线膨胀系数和上述缓冲部的线膨胀系数彼此不同。

3.根据权利要求1或2所述的光学元件保持装置，其特征在于，

上述缓冲部的线膨胀系数大于上述保持部件的线膨胀系数。

4.根据权利要求3所述的光学元件保持装置，其特征在于，

上述保持部件的线膨胀系数大于上述光学元件的线膨胀系数。

5.根据权利要求1或2所述的光学元件保持装置，其特征在于，

上述缓冲部的线膨胀系数小于上述保持部件的线膨胀系数。

6.根据权利要求5所述的光学元件保持装置，其特征在于，

上述保持部件的线膨胀系数小于上述光学元件的线膨胀系数。

7.根据权利要求1～6的任意一项所述的光学元件保持装置，其特征在于，

上述缓冲部，按照由上述光学元件与上述保持部件的线膨胀系数之差引起的上述光学元件与上述保持部件的相对位置变化进行移动。

8.根据权利要求7所述的光学元件保持装置，其特征在于，

上升缓冲部的至少一部分，按照上述光学元件与上述保持部件的上述相对位置变化进行伸缩。

9.根据权利要求1～8的任意一项所述的光学元件保持装置，其特征在于，

上述连接机构的一部分形成于上述保持部件上。

10.根据权利要求1～9的任意一项所述的光学元件保持装置，其特征在于，

上述连接机构具有放大上述缓冲部的伸缩的放大机构。

11.根据权利要求10所述的光学元件保持装置，其特征在于，

上述放大机构具有链部件，该链部件具有沿第1方向延伸的第1部件、沿着与上述第1方向垂直的方向延伸的第2部件；

上述链部件的上述第1部件具有连接于上述保持部件的支点、承受上述缓冲部的伸缩力的力点；

上述链部件的上述第2部件具有将上述缓冲部的伸缩力传递到上述光学元件侧的作用点。

12.根据权利要求11所述的光学元件保持装置，其特征在于，

还具有弹簧机构，该弹簧机构将上述链部件连接于上述保持部件，并且可容许从上述力点向上述作用点传递伸缩力。

13.根据权利要求1～12的任意一项所述的光学元件保持装置，其特征在于，

上述连接机构支撑上述光学元件，并且吸收由上述光学元件的线膨胀系数与上述保持部件的线膨胀系数之差引起的上述光学元件与上述保持部件的相对移动。

14.根据权利要求13所述的光学元件保持装置，其特征在于，

上述连接机构具有支撑上述光学元件的支撑部件，并且

在上述保持部件的线膨胀系数大于上述光学元件的线膨胀系数的情况下，上述连接机构通过上述缓冲部的作用，使上述支撑部件向上述光学元件侧移动。

15.根据权利要求13所述的光学元件保持装置，其特征在于，

上述连接机构具有支撑上述光学元件的支撑部件，并且

在上述保持部件的线膨胀系数小于上述光学元件的线膨胀系数的情况下，上述连接机构通过上述缓冲部的作用，使上述支撑部件向上述保持部件侧移动。

16.一种镜筒，其保持多个光学元件，其特征在于，

通过权利要求1～15中任一项所述的光学元件保持装置来保持至少一个上述光学元件。

17.一种曝光装置，其通过透过多个光学元件的曝光光对基板进行曝光，其特征在于，

通过权利要求1～15中任一项所述的光学元件保持装置来保持上述多个光学元件的至少一个。

18.根据权利要求17所述的曝光装置，其特征在于，

上述多个光学元件构成在上述基板上形成图案的光学系统。

19.一种器件的制造方法，其包括光刻工序，其特征在于，

上述光刻工序使用权利要求17或18所述的曝光装置。