[发明专利]将来自物体的辐射成像到探测装置上的方法和用于检查物体的检查装置无效
| 申请号： | 200880009207.8 | 申请日： | 2008-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN101641588A | 公开（公告）日： | 2010-02-03 |
| 发明（设计）人： | R·斯奈欧;A·J·布里克;H·范布莱格 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种将来自物体的辐射成像到探测装置上的方法。该方法包括步骤：引导相干辐射束到该物体，相对于物体在入射平面内或外在一定角度上扫描辐射束，以及将被物体散射的辐射成像到探测装置上。 | ||
| 搜索关键词： | 来自 物体 辐射 成像 探测 装置 方法 用于 检查 | ||
【主权项】：
1.一种将来自物体的辐射成像到探测装置上的方法，所述方法包括步骤：引导相干辐射束到所述物体；在相对于所述物体的入射平面内或外在一定角度上扫描所述辐射束；和将被所述的物体散射的辐射成像到所述探测装置上。
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