[发明专利]正型感光性树脂组合物有效
| 申请号: | 200880004802.2 | 申请日: | 2008-02-05 |
| 公开(公告)号: | CN101611350A | 公开(公告)日: | 2009-12-23 |
| 发明(设计)人: | 藤田阳二;有本真治;池鲤生 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/023 | 分类号: | G03F7/023;C08F290/06;C08F299/02;C08G73/10;C08G73/22;G03F7/004;G03F7/022;H01L21/027 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 吴 娟;李平英 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供使用酚醛清漆树脂、具有良好的机械特性、保存稳定性优异的正型感光性树脂组合物。该正型感光性树脂组合物含有(a)酚醛清漆树脂、(b)以通式(1)和/或通式(2)所示结构为主要成分的聚合物、(c)重氮醌化合物、(d)含烷氧基甲基的化合物以及(e)溶剂。通式(1)~(2)中,R1和R2分别可以相同或不同,表示碳原子数为2以上的2价~8价有机基团。R3和R4分别可以相同或不同,表示氢或碳原子数为1~20的1价有机基团。通式(1)的-NH-R5和通式(2)的-CO-R6表示聚合物的末端基团,R5和R6表示具有不饱和烃基的碳原子数为2~30的1价有机基团。n表示10~100,000的范围,l和m表示0~2的整数,p和q表示0~4的整数。其中p+q>0。 | ||
| 搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】:
1.正型感光性树脂组合物,该组合物含有:(a)酚醛清漆树脂;(b)以通式(1)和/或通式(2)所示结构为主要成分的聚合物:通式(1)~(2)中,R1和R2分别相同或不同,表示碳原子数为2以上的2价~8价有机基团;R3和R4分别相同或不同,表示氢或碳原子数为1~20的1价有机基团;通式(1)的-NH-R5和通式(2)的-CO-R6表示聚合物的末端基团;R5和R6表示具有不饱和烃基的碳原子数为2~30的1价有机基团;n表示10~100,000的范围,l和m表示0~2的整数,p和q表示0~4的整数,其中p+q>0;(c)重氮醌化合物;(d)含烷氧基甲基的化合物;以及(e)溶剂。
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