[发明专利]正型感光性树脂组合物有效
| 申请号: | 200880004802.2 | 申请日: | 2008-02-05 |
| 公开(公告)号: | CN101611350A | 公开(公告)日: | 2009-12-23 |
| 发明(设计)人: | 藤田阳二;有本真治;池鲤生 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/023 | 分类号: | G03F7/023;C08F290/06;C08F299/02;C08G73/10;C08G73/22;G03F7/004;G03F7/022;H01L21/027 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 吴 娟;李平英 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
1.正型感光性树脂组合物,该组合物含有:
(a)酚醛清漆树脂;
(b)以通式(1)和/或通式(2)所示结构为主要成分的聚合物:
通式(1)~(2)中,R1和R2分别相同或不同,表示碳原子数为2以上的 2价~8价有机基团;R3和R4分别相同或不同,表示氢或碳原子数为 1~20的1价有机基团;通式(1)的-NH-R5和通式(2)的-CO-R6表示聚 合物的末端基团;R5和R6表示具有不饱和烃基的碳原子数为2~30 的1价有机基团;n表示10~100,000的范围,l和m表示0~2的整 数,p和q表示0~4的整数,其中p+q>0;
(c)重氮醌化合物;
(d)含烷氧基甲基的化合物;以及
(e)溶剂,
其中(d)含烷氧基甲基的化合物含有具通式(4)所示基团的化合物 和/或通式(5)所示的化合物,
通式(4)中,R12和R13表示碳原子数为1~20的烷基;
通式(5)中,R14和R15表示CH2OR38,其中R38表示碳原子数为1~6 的烷基;R16表示氢原子、甲基或乙基;R17~R37分别相同或不同,表 示氢原子、碳原子数为1~20的1价有机基团、Cl、Br、I或F;j表 示1~4的整数。
2.权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,其中,(c)重氮醌 化合物含有通式(3)所示的化合物:
通式(3)中,R7~R10分别相同或不同,表示氢或碳原子数为1~10的1 价有机基团;R11表示2价有机基团;Q表示5-重氮萘醌磺酰基、4- 重氮萘醌磺酰基或氢,其中Q的全部均不为氢;a、b、c和d表示0-4 的整数。
3.权利要求2所述的正型感光性树脂组合物,其中,通式(3)所 示的化合物中的Q的重氮萘醌磺酰基与氢的摩尔比即重氮萘醌磺酰 基/氢为3/5以上至3以下。
4.权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,其中,相对于100 重量份(a)酚醛清漆树脂,含有30~100重量份(b)以通式(1)和/或通式 (2)所示结构作为主要成分的聚合物;相对于100重量份(a)酚醛清漆树 脂和(b)以通式(1)和/或通式(2)所示结构作为主要成分的聚合物的总 量,含有1~50重量份(c)重氮醌化合物、5~50重量份(d)含烷氧基甲 基的化合物。
5.权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,其中,酚醛清漆树 脂含有间甲酚残基与对甲酚残基的摩尔比m/p为1.8以上的甲酚酚醛 树脂。
6.权利要求1~5中任一项所述的正型感光性树脂组合物,其中, (d)含烷氧基甲基的化合物是具有4个以上烷氧基甲基的化合物。
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