[发明专利]正型感光性树脂组合物

说明书

技术领域

本发明涉及正型感光性树脂组合物。更具体地说，涉及适合半导 体元件的表面保护膜、层间绝缘膜、有机电致发光元件的绝缘层等、 经紫外线曝光的部分溶解于碱显影液中的正型感光性树脂组合物。

背景技术

聚酰亚胺或聚苯并噁唑等耐热性树脂具有优异的耐热性、电绝缘 性，因此可用作LSI(大规模集成电路)等半导体元件的表面保护膜、 层间绝缘膜等。近年来，伴随着半导体元件的精细化，对于表面保护 膜、层间绝缘膜等也要求有数微米的分辨率。为此，在上述用途中， 使用了能精细加工的正型感光性聚酰亚胺或聚苯并噁唑。

另一方面，有人提出了作为光致抗蚀剂用的树脂而广泛应用的、 含有酚醛清漆树脂和聚酰亚胺前体或聚苯并噁唑前体、重氮醌化合物 的正型感光性树脂组合物(例如参照专利文献1)。但是，该树脂组合 物在热固化后的膜非常脆，与以往的聚酰亚胺或聚苯并噁唑相比，机 械特性、特别是伸长度或强度不足。还有人提出了含有酚醛清漆树脂、 和聚酰亚胺前体或聚苯并噁唑前体、重氮醌化合物以及多官能三羟甲 基化合物的正型感光性树脂组合物(例如参照专利文献2～4)。但是， 这些树脂组合物存在机械特性和保存稳定性差、感光度变化大的问 题。基于上述原因，在半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜等用途 中，使用这些树脂组合物替代感光性聚酰亚胺或感光性聚苯并噁唑是 困难的。

专利文献1：日本特开2005-352004号公报(权利要求1)

专利文献2：日本特开2005-062764号公报(权利要求1)

专利文献3：日本特开2005-250160号公报(权利要求1)

专利文献4：日本特开2006-285037号公报(权利要求1)

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的目的在于提供使用酚醛清漆树脂制备的、具有良好的机 械特性、且保存稳定性优异的正型感光性树脂组合物。

解决课题的方法

本发明是正型感光性树脂组合物，该组合物含有(a)酚醛清漆树 脂、(b)以通式(1)和/或通式(2)所示结构为主要成分的聚合物、(c)重氮 醌化合物、(d)含烷氧基甲基的化合物以及(e)溶剂。

通式(1)～(2)中，R¹和R²分别可以相同或不同，表示碳原子数为 2以上的2价～8价有机基团。R³和R⁴分别可以相同或不同，表示氢 或碳原子数为1～20的1价有机基团。通式(1)的-NH-R⁵和通式(2)的 -CO-R⁶表示聚合物的末端基团，R⁵和R⁶表示具有不饱和烃基的碳原 子数为2～30的1价有机基团。n表示10～100,000的范围，l和m 表示0～2的整数，p和q表示0～4的整数。其中p+q＞0。

发明效果

根据本发明，可以获得具有良好的机械特性、且保存稳定性优异 的正型感光性树脂组合物。

附图说明

图1是表示热固化后图案形状特性的评价基准的图。

具体实施方式

本发明的正型感光性树脂组合物含有(a)酚醛清漆树脂、(b)以上 述通式(1)和/或通式(2)所示结构作为主要成分的聚合物。

(a)酚醛清漆树脂可通过公知的方法，将酚类与醛类缩聚来获得。 可以含有2种以上酚醛清漆树脂的组合。