[实用新型]多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置有效
| 申请号： | 200820222838.5 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN201305651Y | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 戴自忠;易忠海 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C01B33/03 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 方 强 |
| 地址： | 614800四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置，其特征在于：包括产品汽化器和静态混合器，产品汽化器和静态混合器之间设置有流量计一，所述产品汽化器、流量计一和静态混合器之间均通过管道连接；所述静态混合器还设置有单独的氢气进口；本实用新型通过调节阀、切断阀和流量计，可以将H2和氯硅烷的比例准确、快速控制；混合气的流量可以准确控制；控制直观、简单，主控人员容易驾驭。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 中的 硅烷 氢气 混合 装置 | ||
【主权项】：
1、多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置，其特征在于：包括产品汽化器(1)和静态混合器(2)，产品汽化器(1)和静态混合器(2)之间设置有流量计一(3)，所述产品汽化器(1)、流量计一(3)和静态混合器(2)之间均通过管道连接；所述静态混合器(2)还设置有单独的氢气进口(4)。
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