[实用新型]多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置有效
| 申请号： | 200820222838.5 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN201305651Y | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 戴自忠;易忠海 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C01B33/03 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 方 强 |
| 地址： | 614800四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 中的 硅烷 氢气 混合 装置 | ||
1、多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置，其特征在于：包括产品汽化器(1)和静态混合器(2)，产品汽化器(1)和静态混合器(2)之间设置有流量计一(3)，所述产品汽化器(1)、流量计一(3)和静态混合器(2)之间均通过管道连接；所述静态混合器(2)还设置有单独的氢气进口(4)。
2、根据权利要求1所述多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置，其特征在于具体连接结构为：所述产品汽化器(1)和流量计一(3)之间还设置有切断阀(5)，也通过管道连接。
3、根据权利要求2所述多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置，其特征在于具体连接结构为：所述产品汽化器(1)的下端为液态氯硅烷的进口(6)，产品汽化器(1)的上端为气态氯硅烷的出口(7)，出口(6)与切断阀(5)的进口连接，切断阀(5)的出口与流量计一(3)的进口连接，流量计一(3)的出口与静态混合器(2)的氯硅烷进口(8)连接；所述静态混合器(2)的氢气进口(4)通过管道依次连接有流量计二(9)和调节阀(10)；静态混合器(2)的出口(11)与氢还原炉的进口连接。
4、根据权利要求1或2所述多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置，其特征在于具体连接结构为：所述流量计一(3)和调节阀(10)之间通过管道连接。
5、根据权利要求1或2所述多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置，其特征在于具体连接结构为：所述产品汽化器(1)设置有蒸汽调节阀(12)。
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