[实用新型]电镀液过滤装置有效
| 申请号： | 200820154305.8 | 申请日： | 2008-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN201362750Y | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 陈亮 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C25D21/06 | 分类号： | C25D21/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型揭露了一种电镀液过滤装置，包括滤筒以及位于滤筒两端的底座和顶盖，其中滤筒内设有滤芯以实现对电镀液的过滤，且顶盖具有电镀液出口，该电镀液出口与一电镀反应室相通；同时，顶盖还具有排气口，且该排气口与一排气通道相通。可见，以上电镀液过滤装置于顶盖上增设排气口，以引导过滤装置内残留气泡通过该排气口排出。由于残留气泡多聚集于过滤装置的顶部，故设置于顶盖上的排气口可有效的引导残留气泡的排出，提高芯片质量与产出效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 过滤 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电镀液过滤装置，包括滤筒以及位于滤筒两端的底座和顶盖，其中滤筒内设有滤芯以实现对电镀液的过滤，且顶盖具有电镀液出口，该电镀液出口与一电镀反应室相通，其特征是，所述顶盖还具有排气口，且该排气口与一排气通道相通。
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