[实用新型]电镀液过滤装置有效
申请号: | 200820154305.8 | 申请日: | 2008-10-21 |
公开(公告)号: | CN201362750Y | 公开(公告)日: | 2009-12-16 |
发明(设计)人: | 陈亮 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | C25D21/06 | 分类号: | C25D21/06 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电镀 过滤 装置 | ||
1.一种电镀液过滤装置,包括滤筒以及位于滤筒两端的底座和顶盖,其中滤筒内设有滤芯以实现对电镀液的过滤,且顶盖具有电镀液出口,该电镀液出口与一电镀反应室相通,其特征是,所述顶盖还具有排气口,且该排气口与一排气通道相通。
2.根据权利要求1所述的电镀液过滤装置,其特征是,所述排气通道上设置有排气阀。
3.根据权利要求2所述的电镀液过滤装置,其特征是,所述排气通道还包括内部排气通道和外部排气管,其中内部排气通道的一端与所述排气口相通,另一端通过排气阀与外部排气管相通。
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