[实用新型]一种晶圆清洗机台清洗液泄漏的自动处理装置有效
| 申请号： | 200820055659.7 | 申请日： | 2008-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN201161240Y | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王重任;孙顾华;孙涛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00;G01M3/00;G05B11/32 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆清洗机台清洗液泄漏的自动处理装置，用于处理晶圆清洗机台防漏盘上渗漏出的清洗液，它包括漏水感应传感器，配有抽水管的抽水器、抽水控制器；抽水器的抽水管连接到防漏盘上，漏水感应传感器置于防漏盘上方并与抽水控制器连接。当防漏盘上出现泄漏的清洗液时，在不终止机台当前的清洗进程下，漏水感应传感器将输出信号传动给抽水控制器，从而抽水控制器启动抽水器开始工作抽出防漏盘上的清洗液。这样可有效解决原晶圆清洗机台中清洗液泄漏的传感控制电路强制性终止机台当前进程导致晶圆报废的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 机台 泄漏 自动 处理 装置 | ||
【主权项】：
1、一种晶圆清洗机台清洗液泄漏的自动处理装置，用于处理所述晶圆清洗机台防漏盘上渗漏出的清洗液，其特征在于，它包括漏水感应传感器，配有抽水管的抽水器、抽水控制器；所述抽水器的抽水管连接到所述防漏盘上，所述漏水感应传感器置于所述防漏盘上方并与抽水控制器连接；所述漏水感应传感器将感应的清洗液泄漏信号传送给抽水控制器，抽水控制器从而控制所述抽水器开始工作。
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