[实用新型]一种晶圆清洗机台清洗液泄漏的自动处理装置有效
| 申请号： | 200820055659.7 | 申请日： | 2008-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN201161240Y | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王重任;孙顾华;孙涛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00;G01M3/00;G05B11/32 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 机台 泄漏 自动 处理 装置 | ||
1、一种晶圆清洗机台清洗液泄漏的自动处理装置，用于处理所述晶圆清洗机台防漏盘上渗漏出的清洗液，其特征在于，它包括漏水感应传感器，配有抽水管的抽水器、抽水控制器；所述抽水器的抽水管连接到所述防漏盘上，所述漏水感应传感器置于所述防漏盘上方并与抽水控制器连接；所述漏水感应传感器将感应的清洗液泄漏信号传送给抽水控制器，抽水控制器从而控制所述抽水器开始工作。
2、如权利要求1所述的清洗液泄露的自动处理装置，其特征在于，所述的漏水感应传感器为光感传感器。
3、如权利要求1所述的清洗液泄露的自动处理装置，其特征在于，所述的抽水器为真空抽水器，所述真空抽水器配有输入气体管。
4、如权利要求3所述的清洗液泄露的自动处理装置，其特征在于，所述抽水控制器包括控制所述真空抽水器输入气体管的启动阀和控制所述启动阀的开关阀，所述开关阀的输出端与启动阀连接，所述开关阀的输入端与所述漏水感应传感器连接。
5、如权利要求4所述的清洗液泄露的自动处理装置，其特征在于，所述开关阀的输出端还与信号灯和蜂鸣器连接。
6、如权利要求4所述的清洗液泄露的自动处理装置，其特征在于，所述启动阀为电子阀，所述开关阀为直流继电器。
7、如权利要求3所述的清洗液泄露的自动处理装置，其特征在于，所述真空抽水器置于一抽水器皿内。
8、如权利要求7所述的清洗液泄露的自动处理装置，其特征在于，所述抽水器皿上端开有通气孔，下端连接排水管。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200820055659.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
