[实用新型]一种晶圆清洗机台清洗液泄漏的自动处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗机台自动控制领域，尤其涉及晶圆清洗机台的清洗液存在泄漏时的自动处理装置。

背景技术

集成芯片制作均是在高洁净度环境中生产制造的，因此对芯片本身，即生产制作过程中的晶圆表面也有十分严格的要求。因此，清洗晶圆是半导体制程中常见的一道工序。清洗晶圆是在特定的晶圆清洗机台中依次进行不同的清洗步骤，待所有清洗步骤完成之后，就会把清洗完毕的晶圆放入具有较高洁净度的晶罩盒中去。然而，由于清洗机台中的各个清洗步骤使用的清洗液大部分是液体，在这些清洗液体的输送管路之中容易出现泄漏的情况。传统的晶圆清洗机台的监测系统中的传感器监测电路，当检测到有液体发生泄漏时，就会自动报警，并会同时强制性地终止清洗机台的工作。

当清洗机台突然停止时，会使停留在清洗机台中尚未完成清洗步骤的晶圆长时间停留在清洗液或较高温度的热水中，使得晶圆上芯片出现缺陷，导致停留在清洗机台中的晶圆报废，造成晶圆的浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆清洗机台清洗液泄露的自动处理装置，以解决目前晶圆清洗机台的清洗液存在泄漏时强行终止机台工作而造成停留在清洗机台中晶圆报废的问题。

为达到上述目的，采用本实用新型的晶圆清洗机台清洗液泄漏的自动处理装置取代晶圆清洗机台原来的传感器报警终止进程系统。该清洗液泄露的自动处理装置用于处理晶圆清洗机台防漏盘上渗漏出的清洗液，它包括漏水感应传感器，配有抽水管的抽水器、抽水控制器；抽水器的抽水管连接到防漏盘上，漏水感应传感器置于防漏盘上方并与抽水控制器连接；漏水感应传感器将感应的清洗液泄漏信号传送给抽水控制器，抽水控制器从而控制抽水器开始工作。进一步地，漏水感应传感器为光感传感器。抽水器为真空抽水器，真空抽水器配有输入气体管。抽水控制器包括控制真空抽水器输入气体管的启动阀和控制启动阀的开关阀，开关阀的输出端与启动阀连接，开关阀的输入端与漏水感应传感器连接。开关阀的输出端还与信号灯和蜂鸣器连接。启动阀为电子阀，开关阀为直流继电器。真空抽水器置于一抽水器皿内。抽水器皿上端开有通气孔，下端连接排水管。

与原晶圆清洗机台中清洗液泄漏的传感控制电路相比，本实用新型的晶圆清洗机台清洗液泄漏的自动处理装置可当晶圆清洗机台发生清洗液泄漏时，不终止机台当前的清洗进程的情况下，用抽水装置将防漏盘上的水抽出，便于处在晶圆清洗机台中晶圆完成所有清洗步骤装入晶罩盒后再停止机台进行检测和维修，解决原清洗液泄漏的传感控制电路出现漏水就强行终止当前清洗进程时导致清洗机台中晶圆报废的问题。

附图说明

以下结合附图和具体实施例对本实用新型的晶圆清洗机台清洗液泄漏的自动处理装置作进一步详细具体地说明。

图1是本实用新型的晶圆清洗机台清洗液泄露的自动处理装置示意图。

具体实施方式

请参阅图1，本实用新型的清洗液泄露的自动处理装置，用于处理晶圆清洗机台防漏盘上渗漏出的清洗液。它包括漏水感应传感器2，配有抽水管7的抽水器5、抽水控制器；抽水器5的抽水管7连接到防漏盘1上，漏水感应传感器2置于防漏盘1上方并与抽水控制器连接。漏水感应传感器2为光感传感器。抽水器5为真空抽水器，真空抽水器5配有输入气体管6。抽水控制器包括控制真空抽水器输入气体管的启动阀4和控制启动阀的开关阀3，开关阀3的输出端与启动阀4连接，开关阀3的输入端与漏水感应传感器2连接。开关阀3的输出端还与信号灯9和蜂鸣器10连接。启动阀4为电子阀，开关阀3为直流继电器。真空抽水器5置于一抽水器皿8内。抽水器皿8上端开有通气孔11，下端连接排水管12。

当晶圆清洗机台工作正常时，为开关阀的继电器3的触头和A触头接触。然而当晶圆清洗机台中的清洗液发生泄漏，防漏盘上1上出现泄漏的液体。由于泄漏的液体会改变光感传感器2接收光线的折射率。从而光感传感器2向作为开关阀的继电器3输出信号，继电器3的触头和B触头接通，从而打开真空抽水器5的输入气体管6，真空抽水器5开始工作。继电器3的触头和B触头接触的同时会打开用于报警的信号灯9和蜂鸣器10提醒工作人员晶圆清洗机台清洗液发生泄漏。真空抽水器5通过抽水管7抽出防漏盘1上的泄漏出的清洗液，并将清洗液排到抽水器皿8内，通过抽水器皿8下方的排水管12将泄漏出的清洗液排出。在抽水器皿8上方开有通气孔11以平衡抽水器皿8内的气压。待当前停留在晶圆清洗机台中的晶圆清洗完毕送入晶罩盒后，可对晶圆清洗机台进行检测和维修。

通过采用本实用新型清洗液的自动处理装置替代原晶圆清洗机台清洗液泄漏的传感控制电路，当清洗机台出现清洗液漏水时，该装置自动抽出泄漏出的清洗液，并不停止当前晶圆清洗机台中正在执行的清洗步骤，这样有较多时间待当前晶圆清洗机台中晶圆清洗完毕送入晶罩盒后再停下晶圆清洗机台进行检测和维修。该清洗液的自动处理装置可解决原清洗液泄漏的传感控制电路存在遇到清洗液泄漏就终止当前晶圆清洗机台进行的清洗进程而导致当前清洗机台中晶圆因较长时间停留在清洗液出现报废的问题。