[实用新型]一种液晶显示器基板蚀刻浸泡装置

摘要

本实用新型提供了一种液晶显示器基板蚀刻浸泡装置，包括蚀刻浸泡装置的外槽、内槽、基板传输装置、外槽内的液切风刀、集液槽和自动控制电路，在蚀刻浸泡装置外槽内上方设有喷洒装置，在内槽的入/出口处设有刮刀，在外槽的底部设有的排液孔、注液/排液孔，底部设有的排液孔、注液/排液孔分别通过集液管路、注液/排液管路连接供液压力调节管路和集液槽。它采用在基板蚀刻浸泡槽旁增设有一自动控制单元的供液压力调节管路，以控制对内槽停止注液时能维持加压泵的稳定输出，有效地节省蚀刻液，在基板蚀刻浸泡槽内还增设一刮刀，以对基板表面之蚀刻液进行有效的清除，解决了基板蚀刻浸泡槽的蚀刻液无谓耗损大而造成浪费的问题。

主权项

1、一种液晶显示器基板蚀刻浸泡装置，包括蚀刻浸泡装置的外槽(22)、内槽(32)、基板传输装置(36)、外槽内的液切风刀(40)、集液槽(42)和自动控制电路，其特征在于，在蚀刻浸泡装置外槽(22)内上方设有喷洒装置(36)，在内槽(32)的入/出口处设有刮刀(38)，在外槽的底部设有的排液孔(28)、注液/排液孔(34)，底部设有的排液孔(28)、注液/排液孔(34)分别通过集液管路(58)、注液/排液管路(56)连接供液压力调节管路和集液槽(42)。